多通道延迟补偿装置及测试设备制造方法及图纸

技术编号:44980404 阅读:18 留言:0更新日期:2025-04-15 17:00
本申请公开了一种多通道延迟补偿装置及测试设备,属于半导体测试技术领域,其中,多通道延迟补偿装置包括:相互连接的采样模块、第一延时单元,以及分别与采样模块、第一延时单元连接的控制模块,采样模块包括多个采样路径,采样路径包括多个通道;第一延时单元用于接收并延时信号源发送的脉冲信号,获得第一脉冲信号并发送至采样模块;控制模块用于控制采样模块选择至少一个采样路径,用以传输第一脉冲信号;采样模块用于经采样路径的多个通道传输和/或延时第一脉冲信号,以使控制模块获得输出脉冲信号,并基于输出脉冲信号的采样信息计算各通道延时偏差值,控制第一延时单元及采样模块进行延时补偿。该装置设计简单,经济实用,适用范围广。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体测试,具体涉及一种多通道延迟补偿装置及测试设备


技术介绍

1、半导体自动化测试,指的是利用自动测试设备(automatic test equipment,ate)对被测器件(device under test,dut)的各项参数指标进行检测,剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。

2、半导体自动化测试设备的数字采样通道通常具有多种采样模式,这代表在数字通道内部有着不同的数据获取路径,这些采样路径很多时候是以分支的方式存在的。在对采样模式切换时,会涉及到各个路径对应延时路径的补偿变化。

3、在数字测试机测试过程中的流程切换效率直接影响了测试芯片的所需时间,测试成本会受到极大的影响,因此芯片测试过程中的连续性非常重要。现有技术中,对于采样路径的校准测量方式,通常采用外部信号源接入或内部信号环回的方式对波形进入测试机到达采样的时间进行测量,再使用延时可调节的输入信号对这些采样路径分别测量之后,记录不同的采样时间,并且计算出各个路径所需的补偿值。在切换采样模式时会有额外的时间产生,并且需要考虑之前的采样数据解析完毕的时间,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多通道延迟补偿装置,其特征在于,包括:相互连接的采样模块、第一延时单元,以及分别与所述采样模块、所述第一延时单元连接的控制模块,所述采样模块包括多个采样路径,所述采样路径包括多个通道;所述第一延时单元用于接收并延时信号源发送的脉冲信号,获得第一脉冲信号并发送至所述采样模块;

2.根据权利要求1所述的多通道延迟补偿装置,其特征在于,所述多个采样路径包括:第一采样路径和第二采样路径,所述第二采样路径设有第二延时单元,所述控制模块连接所述第二延时单元;

3.根据权利要求2所述的多通道延迟补偿装置,其特征在于,所述多个采样路径还包括:第三采样路径,所述第三采样路径...

【技术特征摘要】

1.一种多通道延迟补偿装置,其特征在于,包括:相互连接的采样模块、第一延时单元,以及分别与所述采样模块、所述第一延时单元连接的控制模块,所述采样模块包括多个采样路径,所述采样路径包括多个通道;所述第一延时单元用于接收并延时信号源发送的脉冲信号,获得第一脉冲信号并发送至所述采样模块;

2.根据权利要求1所述的多通道延迟补偿装置,其特征在于,所述多个采样路径包括:第一采样路径和第二采样路径,所述第二采样路径设有第二延时单元,所述控制模块连接所述第二延时单元;

3.根据权利要求2所述的多通道延迟补偿装置,其特征在于,所述多个采样路径还包括:第三采样路径,所述第三采样路径设有第三延时单元;

4.根据权利要求3所述的多通道延迟补偿装置,其特征在于,所述第三延时单元为延时链;

5.根据权利要求1-4...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚琦林川赵川
申请(专利权)人:长迈半导体成都有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1