压电振动元件制造技术

压电振动元件(10)具备：压电片(11)；第一激励电极(14a)，设置在压电片(11)的第一主面(11A)上；第二激励电极(14b)，设置在压电片(11)的第二主面(11B)上；以及质量附加膜(20)，至少一部分与第一激励电极(14a)重叠，质量附加膜(20)包含避开第一激励电极(14a)的中央部而设置的第一部分(21)以及第二部分(22)，第一激励电极(14a)在俯视时，具有第一外缘部(71)和第二外缘部(72)，第二激励电极(14b)具有第三外缘部(81)和第四外缘部(82)，第一部分(21)沿着第一外缘部(71)设置，第二部分(22)沿着第二外缘部(72)设置，在将压电片(11)、第一激励电极(14a)以及第二激励电极(14b)重叠的区域设为高声速区域(17)，将在压电片(11)、第一激励电极14a以及第二激励电极(14b)上进一步重叠了质量附加膜(20)的区域设为第一低声速区域(18A)、第二低声速区域(18B)时，在俯视时，第三外缘部(81)、第四外缘部(82)分别比第一低声速区域(18A)、第二低声速区域(18B)远离中央部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及压电振动元件。

技术介绍

1、在移动通信终端、通信基站、家电等各种电子设备中，在定时设备、传感器或者振荡器等用途中使用压电振动元件。压电振动元件具备：压电片，具有一对主面；以及一对激励电极，设置于压电片的一对主面。

2、例如，在专利文献1中公开了一种晶体振动元件，具备：晶体片，具有第一主面以及第二主面；第一激励电极，设置于第一主面；以及第二激励电极，设置于第二主面，第一激励电极以及第二激励电极在电极端部具有与其他的部分相比膜厚较大的膜厚部。

3、专利文献1：国际公开第2022/080426号

4、然而，在专利文献1所记载的晶体振动元件中，存在如下的情况，由于因制造偏差引起的膜厚部的位置偏移，机电耦合系数恶化。

技术实现思路

1、本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，提供压电振动元件，能够实现机电耦合系数的恶化的抑制。

2、本专利技术的一个技术方案的压电振动元件具备：压电片，具有在第一方向以及与第一方向交叉的第二方向上延伸的第一主面、以及与第一主面对置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电振动元件，其中，具备：

2.一种压电振动元件，其中，具备：

3.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电振动元件，其中，

5.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

6.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

7.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

8.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

9.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

10.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

11.根据权利要求1...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种压电振动元件，其中，具备：

2.一种压电振动元件，其中，具备：

3.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电振动元件，其中，

5.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

6.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

7.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

8.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

9.根据权利要求5所述的压电振动元件，其中，

10.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

11.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

12.根据权利要求1所述的压电振动元件，其中，

13.根据权利要求1至12中任一项所述的压电振动元件，其中，

14.根据权利要求1至12中任一项所述的压电振动元件...

【专利技术属性】
技术研发人员：村内大树，西村俊雄，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：