【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及驱动泵，尤其涉及一种驱动泵芯片。
技术介绍
1、驱动泵作为流体的一种主要动力源，是各种流体系统的关键组件。然而驱动泵相对于流体系统体积较大且集成度较低。现有技术中对于驱动泵的设计包括依靠马达的驱动泵、基于不锈钢压电片的驱动泵、基于聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，pdms)材料的微型蠕动泵和热发泡微泵。
2、然而，依靠马达的驱动泵尺寸较大，且集成性较差。基于不锈钢压电片的驱动泵适用于如电熨斗或鱼缸净水等液体量为十毫升以上的设备，不适用于生物监测等样品量在微升的应用。基于pdms材料的微型蠕动泵的动力源一般是较大的压缩空气源。热发泡微泵的动力源是加热形成气泡进而推动液滴，而加热至高温后与大多数液体不兼容，且无法推动气体。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种驱动泵芯片，以解决不能兼容多种流体种类且集成度低的问题。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种驱动泵芯片，该驱动泵芯片包括：盖板、基板和压电芯片；基板内设置有凹槽；压电芯片
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1.一种驱动泵芯片，其特征在于，包括：盖板、基板和压电芯片；所述基板内设置有凹槽；所述压电芯片嵌入所述凹槽内；
2.根据权利要求1所述的驱动泵芯片，其特征在于，所述流体流道结构包括凸出部和第一凹陷部；所述凸出部和所述第一凹陷部间隔设置；
3.根据权利要求2所述的驱动泵芯片，其特征在于，所述压电单元包括多个压电层和多个压电腔；所述压电层位于所述压电芯片靠近所述盖板的一侧；所述压电腔位于所述压电芯片远离所述盖板的一侧；所述压电腔与所述压电层对应设置；所述压电层和所述压电腔的形状均包括矩形。
4.根据权利要求2所述的驱动泵芯片，其特征在于...
【技术特征摘要】
1.一种驱动泵芯片，其特征在于，包括：盖板、基板和压电芯片；所述基板内设置有凹槽；所述压电芯片嵌入所述凹槽内；
2.根据权利要求1所述的驱动泵芯片，其特征在于，所述流体流道结构包括凸出部和第一凹陷部；所述凸出部和所述第一凹陷部间隔设置；
3.根据权利要求2所述的驱动泵芯片，其特征在于，所述压电单元包括多个压电层和多个压电腔；所述压电层位于所述压电芯片靠近所述盖板的一侧；所述压电腔位于所述压电芯片远离所述盖板的一侧；所述压电腔与所述压电层对应设置；所述压电层和所述压电腔的形状均包括矩形。
4.根据权利要求2所述的驱动泵芯片，其特征在于，所述基板上还设置有第一流道和第二流道；所述第一流道和所述第二流道位于所述凹槽的两端且相对设置；
5.根据权利要求3所述的驱动泵芯片，其特征在于，还包括：多个连接焊盘；所述压电芯片还包括第二凹陷部，所述第二凹陷部与所述流体流道结构间隔...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡秋娴，张华，
申请(专利权)人：苏州百劼芯片科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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