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本发明实施例公开了一种驱动泵芯片。该驱动泵芯片包括：盖板、基板和压电芯片；基板内设置有凹槽；压电芯片嵌入凹槽内；盖板位于压电芯片远离基板的一侧，且覆盖压电芯片；压电芯片包括压电单元和流体流道结构；压电单元位于流体流道结构内；压电芯片用于在连...
该专利属于苏州百劼芯片科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州百劼芯片科技有限公司授权不得商用。

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