【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英晶体谐振荡器这一,更具体地说,尤其涉及一种基于压溶液测试的密封检测方法。
技术介绍
1、石英晶体谐振器的密封性检测是石英晶体制造过程中必不可少的工艺。密封不良导致元件的使用寿命大大降低,工作时出现异常,严重时还会造成石英晶体不工作(停振)。
2、在这一领域,主要有以下两种技术路线:
3、第一种,氦气检漏法(如:cn204128755u、cn207600666u):将晶振在放在真空的密闭容器内,然后再密封容器内充入一定压力的氦气一段时间。在此过程中,如果晶振存在漏洞或裂缝,氦气会通过这些缝隙扩散到产品中。最后质谱检漏仪通过晶振来检测是否存在泄漏。不过这种方法有如下缺点:首先氦有强的吸附作用,会使质谱仪的灵敏度降低。另外,在规模生产过程中,采用二分法(即在规模生产中,为了追求效率,一般把一定数量的待测晶体一起去检漏,如果某只晶体有密封缺陷,需把待测物均分再次重复检测,直到挑出不良品为止),来寻找密封性有缺陷的产品。这种方法,对密封特性有缺陷的晶体,经反复抽真空,容易把氦气抽光,从而把不良品判定为良品
4、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,用于检测石英晶体谐振器是否存在漏率大于1×10-8mbar·l/s以上的漏点,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,S6中在30min到24h内对晶振进行电性能检测。
3.一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,用于检测石英晶体谐振器是否存在漏率大于1×10-8mbar·l/s以上的漏点,包括如下步骤:
4.根据权利要求3所述的一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,S6中在30min到2h内对晶振进行电性能检测。
< ...【技术特征摘要】
1.一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,用于检测石英晶体谐振器是否存在漏率大于1×10-8mbar·l/s以上的漏点,包括如下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,s6中在30min到24h内对晶振进行电性能检测。
3.一种基于压溶液测试的密封检测方法,其特征在于,用于检测石...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭正江,郑艳琴,翁泽宇,游红武,桂元坤,余剑,
申请(专利权)人:鸿星科技集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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