温控系统及温控方法技术方案

本发明专利技术的实施例提供了一种温控系统及温控方法，涉及半导体温控技术领域。本温控系统包括第一制冷系统和第二制冷系统。循环系统包括第一循环回路和第二循环回路。通过设置第一三通阀和第二三通阀，使得第一循环回路和第二循环回路可选择地与第一制冷系统或者第二制冷系统换热。本温控系统能够实现更低供液温度的同时，灵活切换工作模式，应对多样化的负载变化，提高生产效率和产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体温控，具体而言，涉及一种温控系统及温控方法。

技术介绍

1、在半导体生产过程中，温度控制是确保产品质量的关键因素之一。随着半导体制造技术的发展，对温度稳定性的要求越来越高，尤其是在一些先进的制程工艺中，需要实现非常低的温度控制。

2、现有的温控系统在满足多个温度需求的情况下，面对负载端的变化，温控系统不能快速响应，影响了整体的生产效率和产品质量。

技术实现思路

1、本专利技术的目的包括提供一种温控系统及温控方法，其能够实现更低供液温度的同时，灵活切换工作模式，应对多样化的负载变化，提高生产效率和产品质量。

2、本专利技术的实施例可以这样实现：

3、第一方面，本专利技术提供一种温控系统，包括：

4、第一制冷系统，所述第一制冷系统包括第一压缩机、第一冷凝器、第一储液器、第一膨胀阀、第二膨胀阀、第一蒸发器和第一换热器，所述第一压缩机、第一冷凝器和所述第一储液器依次相连，所述第一储液器的出口分别与所述第一蒸发器的第一侧进口、所述第一换热器的第一侧进口本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种温控系统(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一制冷系统(101)还包括第四膨胀阀(114)，所述第一储液器(105)的出口通过所述第四膨胀阀(114)与所述第一压缩机(103)的进口连通；所述第二制冷系统(102)还包括第五膨胀阀(115)，所述第二储液器(126)的出口通过所述第五膨胀阀(115)与所述第二压缩机(110)的进口连通。

3.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一压缩机(103)的进口处设置有第一压力传感器(117)和第一温度传感器(116)，所述第二压缩机(1...

【技术特征摘要】

1.一种温控系统(100)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一制冷系统(101)还包括第四膨胀阀(114)，所述第一储液器(105)的出口通过所述第四膨胀阀(114)与所述第一压缩机(103)的进口连通；所述第二制冷系统(102)还包括第五膨胀阀(115)，所述第二储液器(126)的出口通过所述第五膨胀阀(115)与所述第二压缩机(110)的进口连通。

3.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一压缩机(103)的进口处设置有第一压力传感器(117)和第一温度传感器(116)，所述第二压缩机(110)的进口处设置有第二压力传感器(119)和第二温度传感器(118)。

4.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一膨胀罐(203)和所述第一循环泵(204)之间设置有第三温度传感器(206)，在所述第二膨胀罐(210)和所述第二循环泵(211)之间设置有第四温度传感器(214)。

5.根据权利要求1所述的温控系统(100)，其特征在于，所述第一压缩机(103)的出口还设置有第五温度传感器(120)和第三压力传感器(121)；所述第二压缩机(110)的出口还设置有第六温度传感器(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，曹位尚，
申请(专利权)人：上海盛剑半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：