下载温控系统及温控方法的技术资料

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本发明的实施例提供了一种温控系统及温控方法,涉及半导体温控技术领域。本温控系统包括第一制冷系统和第二制冷系统。循环系统包括第一循环回路和第二循环回路。通过设置第一三通阀和第二三通阀,使得第一循环回路和第二循环回路可选择地与第一制冷系统或者第...
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