烧结装置及方法制造方法及图纸

技术编号:44867010 阅读:22 留言:0更新日期:2025-04-08 00:09
本发明专利技术涉及用于通过加压烧结同时连接多个并排布置的电子器件(22)的组件的一种烧结装置(10)及一种方法。该烧结装置具有上模(12)及下模(14),该烧结装置包括多个可配设于该上模(12)的第一冲压头(16)以及至少一个、特别是多个配设于该下模(14)的第二冲压头(18),在这些冲压头之间容置有这些器件(22)。为此,每个第一冲压头(16)及/或每个第二冲压头(18)均配设有一个驱动装置(28、28.1、28.2),该驱动装置设置为通过沿压力(P)的作用方向轴向移动所对应的第一冲压头(16)及/或所对应的第二冲压头(18)而对这些器件(22)中的一个施加压力。本发明专利技术提出:这些第一冲压头(16)在加压操作开始前放置至这些器件(22)上,并且在施加该压力期间将这些器件(22)压向该至少一个第二冲压头(18)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及通过加压烧结同时连接多个并排布置的电子器件的组件的一种烧结装置以及一种方法。


技术介绍

1、在加压烧结中,可通过接合材料以导电及/或导热的方式将两个或多个组件、特别是电子构件及基板相互连接,其中在此情况下对待连接的接合材料进行烧结。在此情况下,在上模与下模之间单轴向地对连接的组件进行压制以提供接合压力。

2、经证实,在工艺气氛、特别是负压或真空下进行连接尤为有利,特别是用以防止发生非期望的化学反应(如氧化)、防止产生气体夹杂物以及杂质。通常通过上模及下模将烧结所需的热量传递至组件上,但也可自底侧及/或顶侧作为辐射热来施加所需的热量。通常应在共享的基板上布置多个构件,这些构件就其横向延伸度及其高度而言可彼此有所不同。为确保均匀的压力传递,可在上模及/或下模上设置多个冲压头,冲压头就其尺寸而言与待连接的组件协调。

3、若应在一个设备上对不同类型的不同组件进行加工,则需要定期对上模或下模上的冲压头布局进行适配。此适配较为耗时且难以进行,因为模具及/或冲压头可能较热。此外,模具、特别是冲压头通常由金属制成,因为此等模具必须承受本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于通过加压烧结同时连接多个并排布置的电子器件(22)的组件的烧结装置(10),具有上模(12)及下模(14),该烧结装置包括多个配设于该上模(12)的第一冲压头(16)以及至少一个、特别是多个配设于该下模(14)的第二冲压头(18),在这些冲压头之间容置有这些器件(22),其中,每个第一冲压头(16)及/或每个第二冲压头(18)均配设有一个驱动装置(28、28.1、28.2),该驱动装置设置为通过沿压力(P)的作用方向轴向移动所对应的第一冲压头(16)及/或所对应的第二冲压头(18)而对所述器件(22)中的一个施加压力,其特征在于,在加压操作开始前,所述第一冲压头(16)被放置...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用于通过加压烧结同时连接多个并排布置的电子器件(22)的组件的烧结装置(10),具有上模(12)及下模(14),该烧结装置包括多个配设于该上模(12)的第一冲压头(16)以及至少一个、特别是多个配设于该下模(14)的第二冲压头(18),在这些冲压头之间容置有这些器件(22),其中,每个第一冲压头(16)及/或每个第二冲压头(18)均配设有一个驱动装置(28、28.1、28.2),该驱动装置设置为通过沿压力(p)的作用方向轴向移动所对应的第一冲压头(16)及/或所对应的第二冲压头(18)而对所述器件(22)中的一个施加压力,其特征在于,在加压操作开始前,所述第一冲压头(16)被放置至这些器件(22)上,并且在施加该压力期间将这些器件(22)压向所述至少一个第二冲压头(18)。

2.如权利要求1的烧结装置(10),其特征在于,所述第一冲压头(16)抵靠于所述上模(12)的压板(20),其中该下模(14)的至少一个驱动装置(28、28.2)、特别是每个第二冲压头(18)所对应的相应驱动装置(28、28.2)通过该至少一个第二冲压头(18)沿所述压力(p)的作用方向朝该上模(12)的方向施加压力,或者,该至少一个第二冲压头(18)抵靠于所述下模(14)的压板(20)或由该压板构成,其中该上模(12)的至少一个驱动装置(28、28.1)、特别是每个第一冲压头(16)所对应的相应驱动装置(28、28.1)沿所述压力(p)的作用方向朝该下模(14)的方向施加压力。

3.如权利要求1的烧结装置(10),其特征在于,该上模(12)的驱动装置(28、28.1)配设于这些多个第一冲压头(16),该下模(14)的驱动装置(28、28.2)配设于这些多个第二冲压头(18),其中,由于压力(p)的作用方向相反,每个电子器件(22)的两侧均受到上模(12)及下模(14)的驱动装置(28、28.1、28.2)的作用。

4.如权利要求1至3中任一项的烧结装置(10),其特征在于,每个驱动装置(28、28.1、28.2)均可单独地控制其移动距离及/或所施加的压力(p),优选地以液压、电动、压电或磁致伸缩的方式进行控制。

5.根据前述权利要求中任一项所述的烧结装置(10),其特征在于,每个第二冲压头(18)均与该所对应的驱动装置(28、28.2)连接以及/或者均具有相应加热及/或冷却装置,优选地具有针接触式热传递装置。

6.根据前述权利要求中任一项所述的烧结装置(10),其特征在于,设有可插入该烧结装置(10)中...

【专利技术属性】
技术研发人员:克里斯托夫·奥策尔
申请(专利权)人:平克塞莫系统有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1