【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产设备制造领域，尤其涉及一种花篮移动装置。
技术介绍
1、在硅片的加工过程中，需要通过花篮移动装置配合花篮来进行收片或取片操作，花篮根据类型可以分为整片花篮和半片花篮，整片花篮具有一个收纳腔，整片花篮的收纳腔用于存放一列整片硅片；半片花篮具有两个收纳腔，半片花篮的两个收纳腔分别用于存放一列半片硅片。
2、现有的花篮移动装置通常包括升降驱动件和升降平台，花篮放置在升降平台上，升降驱动件驱动升降平台和花篮升降，以配合硅片输送机构将硅片收至花篮中，或将花篮中的硅片取出。这种花篮移动装置只能带动花篮升降，无法带动花篮横移，只能适用于整片花篮的收片或取片操作；而半片花篮因设置有两个收纳腔，若采用此种花篮移动装置，在其中的一个收纳腔收片或取片完成后，无法横移花篮对另一个收纳腔实施收片或取片操作。
3、因此，现有的花篮移动装置无法适用于半片花篮的收片或取片操作，兼容性差。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种花篮移动装置，以解决现有技术中花篮移动装置存在兼容
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1.一种花篮移动装置，其特征在于，所述花篮移动装置包括升降驱动件、升降座、横移驱动件、承载机构和定位机构，其中：
2.根据权利要求1所述的花篮移动装置，其特征在于，所述横移驱动件包括至少一个驱动单元，所述驱动单元包括第一驱动件和皮带传动件，所述第一驱动件被配置为通过所述皮带传动件带动所述承载机构沿所述第一水平方向往复移动。
3.根据权利要求1所述的花篮移动装置，其特征在于，所述承载机构包括花篮移载机构，所述花篮移载机构被配置为从花篮供料线接收并承托空花篮或承托满料花篮移出至花篮收料线。
4.根据权利要求3所述的花篮移动装置，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种花篮移动装置，其特征在于，所述花篮移动装置包括升降驱动件、升降座、横移驱动件、承载机构和定位机构，其中：
2.根据权利要求1所述的花篮移动装置，其特征在于，所述横移驱动件包括至少一个驱动单元，所述驱动单元包括第一驱动件和皮带传动件，所述第一驱动件被配置为通过所述皮带传动件带动所述承载机构沿所述第一水平方向往复移动。
3.根据权利要求1所述的花篮移动装置，其特征在于，所述承载机构包括花篮移载机构，所述花篮移载机构被配置为从花篮供料线接收并承托空花篮或承托满料花篮移出至花篮收料线。
4.根据权利要求3所述的花篮移动装置，其特征在于，所述承载机构还包括横移座，所述横移座安装于所述横移驱动件的驱动端；
5.根据权利要求4所述的花篮移动装置，其特征在于，所述输送驱动件包括第二驱动件、传动组件和驱动轴，所述第二驱动件的固定端安装在所述横移座上，所述第二驱动件的驱动端通过传动组件驱动所述驱动轴转动，所述输送带为两条，每条所述输送带套装在两个沿所述第二水平方向间隔设置的输送轮上，所述输送轮可转动地安装在所述横移座上，所述驱动轴的两端与位于两条所述输送带同端的两个输送轮连接。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡奥特维科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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