一种可扩容供液罐制造技术

本技术公开了一种可扩容供液罐，包括供液罐，所述供液罐的内壁上端固定装配有密封圈，所述密封圈的内壁插接有副罐，所述副罐的一侧通过限位结构与供液罐相连，所述副罐的另一侧通过调节结构与供液罐相连，通过供液罐存储溶液，通过副罐的作用，可以根据生产需求，调整罐内空间，从而调整罐内的容积，通过密封圈的作用，保证供液罐与副罐连接的密闭性，保证设备的使用效果，通过调节结构的作用，方便调整副罐上下位移，从而调整罐内整体容积，通过限位结构的作用，保证副罐在进行位移时，保持固定的轨迹运动，从而保证设备调节时的稳定性，调节方便，实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅粉沉淀用供液罐，具体涉及一种可扩容供液罐。

技术介绍

1、硅片，又称为晶圆，是制造芯片和各种半导体器件的重要原材料，半导体器件硅片生产中，随着设备持续使用，供液罐内硅粉含量会增加，硅粉含量过高会影响产品质量，因此需要采取对供液罐进行改造扩容增加供液罐的高度、直径或体积，以增加沉降面积和时间，达到降低硅粉含量的目的，使其能够有效提高硅片切割后的洁净度与表面质量，提升产品质量。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种可扩容供液罐，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可扩容供液罐，包括供液罐，所述供液罐的内壁上端固定装配有密封圈，所述密封圈的内壁插接有副罐，所述副罐的一侧通过限位结构与供液罐相连，所述副罐的另一侧通过调节结构与供液罐相连。

3、优选的，所述调节结构包括支板，所述支板固定装配于副罐的侧壁，所述供液罐的侧壁固定装配有两个支架，两个所述支架的内壁固定装配有第一液压缸，所述第一液压缸的活塞杆上端与支板相连。

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【技术保护点】

1.一种可扩容供液罐，其特征在于：包括供液罐(1)，所述供液罐(1)的内壁上端固定装配有密封圈(3)，所述密封圈(3)的内壁插接有副罐(4)，所述副罐(4)的一侧通过限位结构(2)与供液罐(1)相连，所述副罐(4)的另一侧通过调节结构(5)与供液罐(1)相连。

2.根据权利要求1所述的一种可扩容供液罐，其特征在于：所述调节结构(5)包括支板(51)，所述支板(51)固定装配于副罐(4)的侧壁，所述供液罐(1)的侧壁固定装配有两个支架(52)，两个所述支架(52)的内壁固定装配有第一液压缸(53)，所述第一液压缸(53)的活塞杆上端与支板(51)相连。>

3.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种可扩容供液罐，其特征在于：包括供液罐(1)，所述供液罐(1)的内壁上端固定装配有密封圈(3)，所述密封圈(3)的内壁插接有副罐(4)，所述副罐(4)的一侧通过限位结构(2)与供液罐(1)相连，所述副罐(4)的另一侧通过调节结构(5)与供液罐(1)相连。

2.根据权利要求1所述的一种可扩容供液罐，其特征在于：所述调节结构(5)包括支板(51)，所述支板(51)固定装配于副罐(4)的侧壁，所述供液罐(1)的侧壁固定装配有两个支架(52)，两个所述支架(52)的内壁固定装配有第一液压缸(53)，所述第一液压缸(53)的活塞杆上端与支板(51)相连。

3.根据权利要求1所述的一种可扩容供液罐，其特征在于：所述限位结构(2)包括连板(21)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭跃，闫志远，宋金来，
申请(专利权)人：锦州佑华硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：