一种单晶硅清洗脱胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅清洗脱胶装置，涉及单晶硅生产设备技术领域，包括处理槽，所述处理槽的上端左侧设有沥水槽，所述沥水槽的内部设有放置架，所述处理槽的外部设有桁车架，所述桁车架的内部下端与所述处理槽对应的位置设有起吊板，所述起吊板的下表面前后端及中间位置设有承重板，所述承重板之间贯穿设有调节杆，所述调节杆上且在所述承重板之间滑动连接有吊钩，在对单晶硅棒进行脱胶处理时，单晶硅棒依次进行预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗处理，代替目前的单晶硅棒清洗脱胶处理装置，将多个作业流程进行整合，途中通过起吊车对单晶硅棒进行搬运并设置沥水槽，避免清洗剂的滴落，减少对工厂环境造成的污染。减少对工厂环境造成的污染。减少对工厂环境造成的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅清洗脱胶装置


[0001]本技术涉及单晶硅生产设备
，具体涉及一种单晶硅清洗脱胶装置。

技术介绍

[0002]单晶硅，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等；用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,单晶硅棒的清洗是在对单晶硅棒进行切割前保持单晶硅棒清洁的重要步骤。在对单晶硅棒进行脱胶前，需要对单晶硅棒进行清洗处理，目前的单晶硅棒清洗脱胶处理，还属于两个作业流程，途中需要进行搬运，造成清洗剂的滴落，对工厂环境造成污染。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶硅清洗脱胶装置，以解决上述
技术介绍
中提出的在对单晶硅棒进行脱胶前，需要对单晶硅棒进行清洗处理，目前的单晶硅棒清洗脱胶处理，还属于两个作业流程，途中需要进行搬运，造成清洗剂的滴落，对工厂环境造成污染的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅清洗脱胶装置，包括处理槽，所述处理槽的上端左侧设有沥水槽，所述沥水槽的内部设有放置架，所述处理槽的外部设有桁车架，所述桁车架的内部下端与所述处理槽对应的位置设有起吊板，所述起吊板的下表面前后端及中间位置设有承重板，所述承重板之间贯穿设有调节杆，所述调节杆上且在所述承重板之间滑动连接有吊钩。
[0005]优选的，根据使用情况设置不同用途的多个所述处理槽，所述处理槽的用途包括预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗，所述沥水槽与所述处理槽连通连接，所述处理槽通过沥水槽抵在相邻的所述处理槽的左侧。
[0006]优选的，所述桁车吊上滑动连接有多个起吊车，所述起吊车的数量与所述处理槽的数量对应设置，每个所述起吊车在相邻两个所述处理槽之间往复运动，所述起吊板与所述起吊车之间通过钢缆连接。
[0007]优选的，所述处理槽的内部设有处理液，所述处理液的液面高度在所述沥水槽的下壁与所述放置架的下端之间。
[0008]优选的，所述沥水槽的下表面与所述放置架对应的位置设有支撑架，所述放置架的内表面设有垫圈。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过本技术的设计结构，将多个处理槽按照不同的用途进行有效的排序，按照预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗的顺序进行排序，在对单晶硅棒进行脱胶处理时，单晶硅棒依次进行预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗处理，代替目前的单晶硅棒清洗脱胶处理装置，将多个作业流程进行整合，途中通过起吊车对单晶硅棒进行搬运并设置沥水槽，避免清洗剂的滴落，减少对工厂
环境造成的污染。
附图说明
[0010]图1为本技术的主体结构轴测图；
[0011]图2为本技术的主体结构主视剖视图；
[0012]图3为本技术的主体结构主视示意图；
[0013]图4为本技术的主体结构左视示意图；
[0014]图5为本技术的起吊板结构轴测图。
[0015]图中：1
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处理槽、2
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沥水槽、3
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放置架、4
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桁车架、5
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起吊板、6
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承重板、7
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调节杆、8
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吊钩、9
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起吊车、10
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处理液、11
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支撑架、12
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垫圈、13
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单晶硅棒。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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5，本技术提供一种单晶硅清洗脱胶装置，包括处理槽1，所述处理槽1的上端左侧设有沥水槽2，所述沥水槽2的内部设有放置架3，所述处理槽1的外部设有桁车架4，所述桁车架4的内部下端与所述处理槽1对应的位置设有起吊板5，所述起吊板5的下表面前后端及中间位置设有承重板6，所述承重板6之间贯穿设有调节杆7，所述调节杆7上且在所述承重板6之间滑动连接有吊钩8。
[0018]使用时，按照不同的顺序对处理槽1进行排列设置，并通过沥水槽2将多个处理槽1相互紧密贴靠，通过焊接将承重板6固定设置在起吊板5的下表面上，并在承重板6之间贯穿设置调节杆7，并在调节杆7上设置吊钩8，使得吊钩8能在调节杆7上进行滑动，以对应不同长度的单晶硅棒，通过起吊板5、承重板6、调节杆7及吊钩8的整体结构，对处理槽1内部的单晶硅棒13进行吊装，并通过桁车架4将单晶硅帮13在多个处理槽1之间进行运输，运输时，首先将单晶硅帮13放置在对应的处理槽1上的沥水槽2的内部设置的放置架3上，随后，下一处理槽1对应的起吊板5、承重板6、调节杆7及吊钩8的整体结构对单晶硅棒13进行吊装，放置在自己对应的处理槽1内部进行处理，再将处理后的单晶硅棒13放置在对应的处理槽1上的沥水槽2的内部设置的放置架3上，依次重复上述流程即可将单晶硅棒13在多个处理槽1内部进行运输处理。
[0019]根据使用情况设置不同用途的多个所述处理槽1，所述处理槽1的用途包括预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗，所述沥水槽2与所述处理槽1连通连接，所述处理槽1通过沥水槽2抵在相邻的所述处理槽1的左侧，通过沥水槽2将多个处理槽1进行紧密贴合设置，避免处理槽1与处理槽1之间出现的缝隙。
[0020]所述桁车吊4上滑动连接有多个起吊车9，所述起吊车9的数量与所述处理槽1的数量对应设置，每个所述起吊车9在相邻两个所述处理槽1之间往复运动，所述起吊板5与所述起吊车9之间通过钢缆连接，通过在桁车架4上对应处理槽1的数量设置起吊车9，通过起吊车9对起吊板5、承重板6、调节杆7及吊钩8的整体结构进行悬吊，完成吊装作业。
[0021]所述处理槽1的内部设有处理液10，所述处理液10的液面高度在所述沥水槽2的下壁与所述放置架3的下端之间，通过在处理槽1的内部设置处理液10，保证处理槽1对单晶硅棒13的预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗作业，并保证处理液10的液面高度处于沥水槽2与放置架3之间，及保证的处理槽1内部的处理液10液面高度，又保证液面高度不会超过放置架3，避免影响放置架3对单晶硅棒13沥水的效果。
[0022]所述沥水槽2的下表面与所述放置架3对应的位置设有支撑架11，所述放置架3的内表面设有垫圈12，通过在沥水槽2的下端设置支撑架11，保证放置架3对单晶硅棒13的支撑能力，在放置架3的内部设置垫圈12，对单晶硅棒13提供保护。
[0023]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅清洗脱胶装置，其特征在于：包括处理槽(1)，所述处理槽(1)的上端左侧设有沥水槽(2)，所述沥水槽(2)的内部设有放置架(3)，所述处理槽(1)的外部设有桁车架(4)，所述桁车架(4)的内部下端与所述处理槽(1)对应的位置设有起吊板(5)，所述起吊板(5)的下表面前后端及中间位置设有承重板(6)，所述承重板(6)之间贯穿设有调节杆(7)，所述调节杆(7)上且在所述承重板(6)之间滑动连接有吊钩(8)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅清洗脱胶装置，其特征在于：根据使用情况设置不同用途的多个所述处理槽(1)，所述处理槽(1)的用途包括预清洗、超声波清洗、脱胶、喷淋清洗及漂洗，所述沥水槽(2)与所述处理槽(1)连通连接，所述处理槽(1)通过沥水槽(2)抵在...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭跃，闫志远，杨光，
申请(专利权)人：锦州佑华硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：