【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体加工，尤其涉及一种离子束定向流优化绝缘导向件。
技术介绍
1、离子注入机在半导体器件制造过程中扮演着至关重要的角色，其工作原理是首先将所需的离子通过电离过程提取出来，并将其汇聚成离子束，随后注入至半导体晶圆内部，以达成掺杂目的，进而改变半导体材料的电学性质。但发现在离子注入过程中，离子束会出现发散情况，无法准确地将离子注入到预设的目标区域(如特定晶格位置)，导致掺杂浓度分布不均匀，进而影响半导体器件的性能和良率。
技术实现思路
1、为了解决现有技术问题，本技术提供了一种离子束定向流优化绝缘导向件；旨在提供一种可将离子束精准定向并进行防辐绝缘的导向件。
2、本技术解决其技术问题所采用的方案是：一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子注入机的离子束出口，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节各电极板间电压差的多路控制模块，各所述电极板呈阵列环绕导向通道。
<...【技术保护点】
1.一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子源的离子束出口，其特征在于，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节各电极板间电压差的多路控制模块，各所述电极板呈阵列环绕导向通道。
2.根据权利要求1所述的一种离子束定向流优化绝缘导向件，其特征在于，所述多路控制模块包括多路微型电源及与多路微型电源电连接用于控制输出电压的控制电路板。
3.根据权利要求2所述的一种离子束定向流优化绝缘导向件，其特征在于，所述控制电路板上设有通信接口。
4.根据...
【技术特征摘要】
1.一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子源的离子束出口，其特征在于，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节各电极板间电压差的多路控制模块，各所述电极板呈阵列环绕导向通道。
2.根据权利要求1所述的一种离子束定向流优化绝缘导向件，其特征在于，所述多路控制模块包括多路微型电源及与多路微型电源电连接用于控制输出电压的控制电路板。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：方明江，蔡成振，
申请(专利权)人：无锡诚承电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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