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本技术涉及一种半导体加工技术领域，尤其涉及一种离子束定向流优化绝缘导向件，对接于离子注入机的离子束出口，包括绝缘防辐壳体及设于绝缘防辐壳体内用于定向离子束的导向通道，所述绝缘防辐壳体内还嵌设有偶数个电极板及与各电极板进行电连接用于可独立调节...
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