光伏管式设备的反应室制造技术

本技术提供的一种光伏管式设备的反应室，包括炉门、石英管、炉口水冷法兰及密封组件；密封组件包括第一前侧密封圈及第一后侧密封圈；石英管内部设置有反应腔室，反应腔室一端开口；炉门可移动地设置于反应腔室的开口端，炉门的一端设置有第一安装槽，第一前侧密封圈设置于第一安装槽内；炉口水冷法兰设置于反应腔室开口的一端；炉口水冷法兰的第一端具有阻挡部，阻挡部凸伸出炉口水冷法兰的第一端；第一后侧密封圈设置于炉口水冷法兰的第二端，以密封炉口水冷法兰的端面；光伏管式设备的反应室还包括第一隔热件，第一隔热件套设于石英管外。本技术提供的光伏管式设备的反应室具有密封性能好、使用寿命长、结构简单、成本低的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏制造领域，尤其涉及一种光伏管式设备的反应室。

技术介绍

1、管式设备主要包括：管式pecvd、管式扩散、管式ald、管式氧化、管式退火、管式lpcvd等等。目前，管式设备是光伏行业最为主流的设备。其中因为高温管式设备，工艺温度较高，结构容易收到热损伤，设备故障更高，难度较高。

2、管式设备核心结构是光伏管式设备的反应室，在光伏管式设备的反应室内，施加一定温度、真空度及工艺气体，进而实施工艺反应，实现电池必要的结构。现有的高温管式炉反应室结构，通常包括石英管、前水冷金属法兰、后水冷法兰、后水冷法兰安装板及炉门。其中，石英管为反应腔室，进行反应时需在高温高压条件下。因此反应腔室的开口端需要设置密封结构进行密封。常规的密封结构多数靠炉门上的单层密封圈与前水冷金属法兰挤压以及前水冷金属法兰上的单层密封圈与石英管挤压，从而依靠密封圈的自身变形达到密封的目的。但是长时间在高温环境中，密封圈的弹性会变差甚至失效，进而导致漏气。因此，这种反应室的密封结构的密封圈使用寿命短。另外，在安装炉体时，采用后水冷法兰、后水冷法兰安装板等结构，水冷结构复杂，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光伏管式设备的反应室，其特征在于，包括炉门、石英管、炉口水冷法兰及密封组件；所述密封组件包括第一前侧密封圈及第一后侧密封圈；所述石英管内部设置有反应腔室，所述反应腔室一端开口；所述炉门可移动地设置于所述反应腔室的开口端，所述炉门的一端设置有第一安装槽，所述第一前侧密封圈设置于所述第一安装槽内；所述炉口水冷法兰设置于所述反应腔室开口的一端；所述炉口水冷法兰的第一端具有阻挡部，所述阻挡部凸伸出所述炉口水冷法兰的第一端，以使所述阻挡部能够伸入所述第一安装槽中并与所述第一前侧密封圈呈密封地接触；所述第一后侧密封圈设置于所述炉口水冷法兰的第二端，以密封所述炉口水冷法兰的端面；所述光伏管式设...

【技术特征摘要】

1.一种光伏管式设备的反应室，其特征在于，包括炉门、石英管、炉口水冷法兰及密封组件；所述密封组件包括第一前侧密封圈及第一后侧密封圈；所述石英管内部设置有反应腔室，所述反应腔室一端开口；所述炉门可移动地设置于所述反应腔室的开口端，所述炉门的一端设置有第一安装槽，所述第一前侧密封圈设置于所述第一安装槽内；所述炉口水冷法兰设置于所述反应腔室开口的一端；所述炉口水冷法兰的第一端具有阻挡部，所述阻挡部凸伸出所述炉口水冷法兰的第一端，以使所述阻挡部能够伸入所述第一安装槽中并与所述第一前侧密封圈呈密封地接触；所述第一后侧密封圈设置于所述炉口水冷法兰的第二端，以密封所述炉口水冷法兰的端面；所述光伏管式设备的反应室还包括第一隔热件，所述第一隔热件套设于所述石英管外。

2.如权利要求1所述的光伏管式设备的反应室，其特征在于，所述密封组件还包括第二前侧密封圈，所述第二前侧密封圈设置于所述炉口水冷法兰的第二端，以与所述炉门的一端密封接触。

3.如权利要求2所述的光伏管式设备的反应室，其特征在于，所述密封组件还包括第二后侧密封圈，所述第二后侧密封圈与所述第一后侧密封圈呈间隙是地设置且位于所述炉口水冷法兰的第二端，以密封所述炉口水冷法兰的端面。

4.如权利要求1所述的光伏管式设备的反应室，其特征在于，所述第一安装槽为环形的沉槽，所述阻挡部为定位台阶...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱锋，李锐，梁锦东，江富荣，段振坤，张水铭，程忠达，姚飞，
申请(专利权)人：东莞嘉拓日晟智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：