一种综合处理含氨硅烷废气的工艺及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种综合处理含氨硅烷废气的工艺及系统，该系统包括：第一冷凝器、硅烷燃烧塔、除尘器、蒸氨塔、第二冷凝器以及氨水储存罐。本发明专利技术能够同时处理硅烷和氨气两种废气，避免了传统技术中需要分别处理两种废气的繁琐过程，提高了处理效率；本发明专利技术通过设置第一冷凝器进行高效冷凝，确保了氨气等挥发性物质的有效回收，降低了资源浪费；本发明专利技术通过设置硅烷燃烧塔，硅烷废气中的可燃成分能够充分燃烧，转化为无害的二氧化硅粉尘，确保了硅烷废气的高效处理；蒸氨塔可以使液体和气体能够充分接触，从而增加传热和传质效果，提高蒸发效率；本发明专利技术通过设置通过蒸氨塔的处理，可以回收高浓度的氨水等副产品。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及废气处理，特别涉及一种综合处理含氨硅烷废气的工艺及系统。

技术介绍

1、硅烷(sih4)和氨气(nh3)是太阳能光伏电池片生产过程中常用的气体，特别是在pecvd(等离子体增强化学气相沉积)工艺中，它们被用作等离子气源来沉积氮化硅减反射膜。这一层膜能够减少光线在电池片表面的反射，从而提高太阳能电池的光电转换效率。然而，这些气体在反应过程中会产生废气，需要进行妥善处理。

2、硅烷燃烧塔是光伏太阳能行业中常用设备，不锈钢硅烷燃烧塔的作用是处理pecvd尾气中的硅烷和氨气，它的工作原理是硅烷与输入的压缩空气和氮气接触而自燃或发生氧化反应，反应后生成大量的二氧化硅粉尘；氨气采用水吸收形成高氨氮废水，粉尘则由气流带至喷淋系统中并溶入水中。

3、硅烷的处理方法：①催化燃烧法处理硅烷使硅烷与空气中的氧气迅速反应，生成无害的二氧化硅和水蒸气，处理效率高。该方法能够将硅烷完全转化为无害物质，减少环境污染。与其他方法相比，催化燃烧装置占地面积相对较小，适用于空间有限的场所。然而硅烷易燃易爆，处理过程中需要严格控制温度和氧气浓度，以防止安全本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种综合处理含氨硅烷废气的工艺，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的综合处理含氨硅烷废气的工艺，其特征在于，控制硅烷燃烧塔内通入气体比例为硅烷废气：空气：氮气的体积比＝1：5-20：11-44。

3.一种综合处理含氨硅烷废气的系统，其特征在于，其采用如权利要求1或2所述的工艺对含硅烷与氨气的混合废气进行处理，该系统包括：第一冷凝器、硅烷燃烧塔、除尘器、蒸氨塔、第二冷凝器以及氨水储存罐。

4.根据权利要求3所述的综合处理含氨硅烷废气的系统，其特征在于，所述第一冷凝器为单管程列管式冷凝器，含硅烷与氨气的混合废气进入该单管程列管式冷凝器的...

【技术特征摘要】

1.一种综合处理含氨硅烷废气的工艺，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的综合处理含氨硅烷废气的工艺，其特征在于，控制硅烷燃烧塔内通入气体比例为硅烷废气：空气：氮气的体积比＝1：5-20：11-44。

3.一种综合处理含氨硅烷废气的系统，其特征在于，其采用如权利要求1或2所述的工艺对含硅烷与氨气的混合废气进行处理，该系统包括：第一冷凝器、硅烷燃烧塔、除尘器、蒸氨塔、第二冷凝器以及氨水储存罐。

4.根据权利要求3所述的综合处理含氨硅烷废气的系统，其特征在于，所述第一冷凝器为单管程列管式冷凝器，含硅烷与氨气的混合废气进入该单管程列管式冷凝器的管程，冷凝水进入该单管程列管式冷凝器的壳层，氨气与废气中的水蒸气冷凝后形成氨水，氨水从管程的下端流出经氨水输送管进入蒸氨塔，硅烷废气从管程的上部排出，经硅烷废气输送管由底部进入硅烷燃烧塔。

5.根据权利要求4所述的综合处理含氨硅烷废气的系统，其特征在于，硅烷燃烧塔包括塔体、设置在所述塔体内的下方的燃烧室、处于所述燃烧室上方的换热室、设置在所述塔体内且与所述换热室顶部连通的布水管以及与所述换热室底部连通的蒸汽输送管，所述蒸汽输送管连通至所述蒸氨塔；燃...

【专利技术属性】
技术研发人员：马梦洁，董仕宏，吴倩倩，何文，
申请(专利权)人：苏州仕净科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：