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本发明公开了一种综合处理含氨硅烷废气的工艺及系统，该系统包括：第一冷凝器、硅烷燃烧塔、除尘器、蒸氨塔、第二冷凝器以及氨水储存罐。本发明能够同时处理硅烷和氨气两种废气，避免了传统技术中需要分别处理两种废气的繁琐过程，提高了处理效率；本发明通过...
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