【技术实现步骤摘要】
本申请涉及飞秒激光微加工领域，特别涉及一种气膜孔精密监测加工系统及其工作方法。
技术介绍
1、飞秒激光加工过程中，由于激光的能量较大以及瑞利长度的存在，通常加工的激光具有一定的深度，在一定的离焦距离范围内，对材料都有破坏性作用。在需要气膜孔的设备中，通常气膜孔上层为导热材料，下层表面为设备中各种电路及其他模块的密封材料。如果两层材料的间距较近，在采用飞秒激光对多层材料加工过程中，将会出现加工完上层材料的同时也破坏了下层材料的问题，因此需要一种一边加工一边探测的手段。
2、而且为了探测材料表面的加工状态，在加工过程中，探测光应该先于加工光到达样品表面进行探测，并提供反馈，这样在下一发脉冲到达之前，可判断是否需要继续加工，或进行激光能量的调整，防止击穿下层材料。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种气膜孔精密监测加工系统，能够对材料表面的加工状态进行检测，由此对激光加工过程进行闭环控制。
2、本申请还提出一种针对上述气膜...
【技术保护点】
1.一种气膜孔精密监测加工系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述第一光束的能量与所述第二光束的能量比例为9:1。
3.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述第一延时反光镜组包括第一反光镜和第二反光镜，所述第二延时反光镜组包括第三反光镜和第四反光镜，所述第一光束依次经过所述第一反光镜、所述第三反光镜、所述第四反光镜和所述第二反光镜。
4.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述工作激光组件和所述检测激光组件中均设置有光束缩束组件，所述光束缩束...
【技术特征摘要】
1.一种气膜孔精密监测加工系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述第一光束的能量与所述第二光束的能量比例为9:1。
3.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述第一延时反光镜组包括第一反光镜和第二反光镜，所述第二延时反光镜组包括第三反光镜和第四反光镜，所述第一光束依次经过所述第一反光镜、所述第三反光镜、所述第四反光镜和所述第二反光镜。
4.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述工作激光组件和所述检测激光组件中均设置有光束缩束组件，所述光束缩束组件包括双凸面透镜和平凹凸镜，光束依次经过所述双凸面透镜和所述平凹凸镜以缩小光束光斑。
5.根据权利要求1所述的气膜孔精密监测加工系统，其特征在于：所述工作激光组件和所述检测激光组件中均设置有第一半波片和格兰棱镜，所述第一半波片安装于旋转电机上，光束依次经过所述第一半波片和所述格兰棱镜。
6.根据权利要求5所述的气膜孔精密监测加工系...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘励强，刘峻铭，李志远，邱龙翔，曾浩，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：
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