一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，应用在变向传输领域，包括变向组件，在对半导体设备的废液进行传输时，换向连接头为一个直角弯头，便于实现废液输送路径的度变向，同时延伸管道用于换向后废液的延长输送，以便于废液的输出，该变向组件在使用中可以改变废液的输送路径，提高本组合装置功能部分的灵活度，波纹管以便于延伸本组合装置的功能部分，同时在波纹管的延长伸缩中，可通过导向杆与导向块进行中两端的水平保持，提高在该组合装置安装中的路径保持，避免在该组合装置的悬空安装中，波纹管中段出现重力下垂的情况，同时避免波纹管在下垂中出现废液中杂质积尘在不平整处的情况。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于变向传输领域，特别涉及一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置。

技术介绍

1、半导体设备是半导体制造产业不可或缺的基础，包括制造设备和封测设备两大类，其中半导体设备是半导体器件制造过程中必需的高度自动化、高精度的设备，是半导体产业的技术先导者，芯片设计、晶圆制造和封装测试等需在设备技术允许的范围内设计和制造，设备技术进步又反过来推动半导体产业的发展，在半导体设备的生产加工中，会产生部分废液，该废液具有强酸性或强碱性，存在较强的腐蚀性，现有在对废液的传输中，不便于根据实际情况进行高效传输，同时使用起来的灵活性不高，为废液的传输带来影响。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，其优点实现高效传输，增加使用便利性，且具有灵活性的功能。

2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，包括变向组件，所述变向组件的一端设有输送组件，所述变向组件包括换向连接头，所述换向连接头的底部一体成型有延伸管道，所述输送本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，包括变向组件(1)，其特征在于：所述变向组件(1)的一端设有输送组件(2)，所述变向组件(1)包括换向连接头(101)，所述换向连接头(101)的底部一体成型有延伸管道(102)，所述输送组件(2)包括波纹管(201)，所述波纹管(201)两端的表面分别固定安装有连接块(4)和导向块(5)，所述连接块(4)的一侧固定安装有贯穿至导向块(5)一侧的导向杆(7)，所述波纹管(201)的两端分别螺纹连接有外连接头(202)和变径连接头一(203)，所述换向连接头(101)一端的表面套接有贯穿至外连接头(202)内部的内连接头(204)，所述换向连接...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，包括变向组件(1)，其特征在于：所述变向组件(1)的一端设有输送组件(2)，所述变向组件(1)包括换向连接头(101)，所述换向连接头(101)的底部一体成型有延伸管道(102)，所述输送组件(2)包括波纹管(201)，所述波纹管(201)两端的表面分别固定安装有连接块(4)和导向块(5)，所述连接块(4)的一侧固定安装有贯穿至导向块(5)一侧的导向杆(7)，所述波纹管(201)的两端分别螺纹连接有外连接头(202)和变径连接头一(203)，所述换向连接头(101)一端的表面套接有贯穿至外连接头(202)内部的内连接头(204)，所述换向连接头(101)一端的表面固定安装有凸块(104)，所述变径连接头一(203)的一端螺纹连接有变径连接头二(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置，其特征在于：所述换向连接头(101)为直角弯头。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体设...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄达丽，
申请(专利权)人：上海腾踏工业配件有限公司，
类型：新型
国别省市：