下载一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置的技术资料

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本技术公开了一种用于半导体设备废液变向传输的组合装置,应用在变向传输领域,包括变向组件,在对半导体设备的废液进行传输时,换向连接头为一个直角弯头,便于实现废液输送路径的度变向,同时延伸管道用于换向后废液的延长输送,以便于废液的输出,该变向组...
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