【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，特别涉及一种尾气排放装置。
技术介绍
1、图1是现有技术中的尾气排放装置的示意图。如图1所示，尾气排放装置应用于湿氧氧化工艺，尾气排放装置包括冷凝器30、控压阀60和集水器90，冷凝器30通过第一管路20连接至工艺腔室10，冷凝器30通过排气管路70连接至抽负压装置80，控压阀60设置在排气管路70上，冷凝器30和控压阀60还分别通过管路连接至集水器90，控压阀60用于调整排气管路70的开合度，抽负压装置80对排气管路70进行抽吸。
2、如上的尾气排放装置中，冷凝器30将工艺腔室10中排出的含有大量水汽的工艺尾气进行冷凝，经过冷凝器30处理后的工艺尾气再经排气管路70排入厂务的尾气处理装置中，从而对工艺尾气进行反应处理。整个尾气排放装置产生的冷凝水通过控压阀60对应的管路和冷凝器30对应的管路排放至集水器90中。
3、然而，在验证大流量且长时间的湿氧工艺下产生的水汽较多，冷凝器30无法将水汽全部冷凝，且尾气采用向上排出的方式，会造成以下影响：
4、1.控压阀60上方的管路形成大量...
【技术保护点】
1.一种尾气排放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气排放装置，其特征在于，所述防倒灌管路包括相连通的第一防倒灌管段和第二防倒灌管段，所述第一防倒灌管段与所述第二管路连通，且所述第一防倒灌管段和所述第二管路呈夹角布置；所述第二防倒灌管段与所述排气管路连通，且所述第二防倒灌管段和所述排气管路呈夹角布置。
3.根据权利要求2所述的尾气排放装置，其特征在于，所述第一防倒灌管段和所述第二管路所呈夹角小于90°。
4.根据权利要求2所述的尾气排放装置，其特征在于，所述第一防倒灌管段和所述第二防倒灌管段平行。
5.根...
【技术特征摘要】
1.一种尾气排放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气排放装置，其特征在于，所述防倒灌管路包括相连通的第一防倒灌管段和第二防倒灌管段，所述第一防倒灌管段与所述第二管路连通，且所述第一防倒灌管段和所述第二管路呈夹角布置；所述第二防倒灌管段与所述排气管路连通，且所述第二防倒灌管段和所述排气管路呈夹角布置。
3.根据权利要求2所述的尾气排放装置，其特征在于，所述第一防倒灌管段和所述第二管路所呈夹角小于90°。
4.根据权利要求2所述的尾气排放装置，其特征在于，所述第一防倒灌管段和所述第二防倒灌管段平行。
5.根据权利要求2所述的尾气排放装置，其特征在于，所述防倒灌管路还包括第三防倒灌管段，所述第三防倒灌管段具有沿自身延伸方向依次排布的出液口、第一连接口和第二连接口，所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：周二铜，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。