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本技术提供一种尾气排放装置，装置包括防倒灌管路、冷凝器和控压阀，防倒灌管路用于通过排气管路连接至抽负压装置，冷凝器的进气端用于通过第一管路连接至工艺腔室，冷凝器的出气端通过第二管路连接至防倒灌管路，控压阀设置在第二管路上。如此，本技术通过在...
该专利属于上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司授权不得商用。

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