【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空阀门,具体为一种气驱动式密封真空阀门。
技术介绍
1、真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的,波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜ji80、塑料和其他材料制成。小通径(口径在10毫米以下)的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。
2、现有技术方案:用于真空腔室的门阀,它包括门阀板,所述门阀板固定在一组由囊心和密封板组成的门阀压座上;所述门阀压座上固定安装在两主轴上,该主轴通过从动板连接于由气缸传动的主动板。
3、有技术中的阀门多为手动控制阀,通过旋拧手轮使丝杆带动阀板沿水平方向反复运动,使阀体达到启闭目的。其存在的缺点是只能通过人工操作,自动化程度低,而且对阀板的控制行程只能通过旋拧丝杆进行调节,调节操作用时较长,因此后期采用单一的气缸取代人工进行驱动,但是单一气缸驱动存在以下弊端:单一的气缸只能与阀门顶端的中间位置进行连接,进而导致气缸驱动阀门于阀体内部进行升降时,阀
...【技术保护点】
1.一种气驱动式密封真空阀门,包括阀体(1),其特征在于,所述阀体(1)的顶部固定连接有第一连接法兰(2),所述第一连接法兰(2)的顶部设置有第二连接法兰(3),所述第二连接法兰(3)的内壁固定连接有密封件(5),所述密封件(5)的顶部外壁固定连接有第一保温框(6),所述第一保温框(6)的顶部固定连接有第三连接法兰(7),所述第三连接法兰(7)的顶部设置有第四连接法兰(8),所述第四连接法兰(8)的内壁顶部固定连接有第二保温框(9),所述第二保温框(9)的顶部固定连接有气缸(10),所述阀体(1)的顶部两侧均设置有保持组件,所述气缸(10)的一侧顶部固定连接有进气管(
...【技术特征摘要】
1.一种气驱动式密封真空阀门,包括阀体(1),其特征在于,所述阀体(1)的顶部固定连接有第一连接法兰(2),所述第一连接法兰(2)的顶部设置有第二连接法兰(3),所述第二连接法兰(3)的内壁固定连接有密封件(5),所述密封件(5)的顶部外壁固定连接有第一保温框(6),所述第一保温框(6)的顶部固定连接有第三连接法兰(7),所述第三连接法兰(7)的顶部设置有第四连接法兰(8),所述第四连接法兰(8)的内壁顶部固定连接有第二保温框(9),所述第二保温框(9)的顶部固定连接有气缸(10),所述阀体(1)的顶部两侧均设置有保持组件,所述气缸(10)的一侧顶部固定连接有进气管(13),所述进气管(13)的另一端设置有断气密封组件,所述阀体(1)的内壁底部内壁两侧均固定连接有静环(24),所述静环(24)的一侧外壁设置有气囊(27),所述气囊(27)的另一端设置有动环(26),所述气囊(27)的外壁套设有压紧弹簧(25),所述气缸(10)的输出端固定连接有驱动轴(28),所述驱动轴(28)的底部固定连接有阀板(11),所述驱动轴(28)的外壁开设有分布均匀的限位槽(35),所述第二保温框(9)和第一保温框(6)内壁之间设置有夹持组件,所述第一保温框(6)的一侧顶部贯穿并设置有通风组件,所述气缸(10)的一侧底部贯穿并固定连接有出气管(17)。
2.根据权利要求1所述的一种气驱动式密封真空阀门,其特征在于,所述保持组件包括两个密封筒(4),所述密封筒(4)的底部与阀体(1)的顶部贯穿并固定连接,所述密封筒(4)的顶部中间贯穿并滑动连接有滑杆(18),且滑杆(18)与阀板(11)固定连接,所述滑杆(18)的外壁中间固定连接有密封圈(19),所述滑杆(18)的顶部贯穿并螺纹连接有第一弹簧单向阀(21),所述滑杆(18)的外壁中间贯穿并开设有进气口(20)。
3.根据权利要求2所述的一种气驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员:庞程方,卢永俊,苏中山,
申请(专利权)人:合肥塞美克智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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