一种真空阀门自锁式启动闭合装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空阀门技术领域，公开了一种真空阀门自锁式启动闭合装置，包括两个阀门，一侧所述阀门的顶部固定连接有框架，所述框架的一端贯穿并滑动连接有盖板，所述框架的一端内壁开设有分布均匀的螺纹槽，所述框架的内壁底部固定连接有驱动缸，所述框架的内壁两侧底部均固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁转动连接有蜗轮，所述框架的内壁底部两侧均贯穿并滑动连接有螺纹套阀杆。通过将拔插环从滑杆上取下，使拔插环上的插杆与绳杆卡合，然后转动绳杆，转动绳杆带动绳索进行旋转，从而对阀板的开关高度进行控制，通过转动绳杆改变绳索在滑杆的圈数，以适应不同的阀门尺寸，调整动作行程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空阀门，具体为一种真空阀门自锁式启动闭合装置。

技术介绍

1、晶圆、tft、mocvd、pecvd 、lcd玻璃基板在制程中常需于真空舱内进行，真空舱通常包含有一可开启/关闭的阀门，该阀门由启闭装置驱动动作，当阀门开启时加工物件可自阀门进出真空舱，加工物件送入真空舱后，则关闭阀门使真空舱呈现密封状态后，再进行抽气使真空舱内产生真空状态。

2、对于阀门的开启或关闭，现有技术一般依靠气缸或油缸带动传动机构，传动机构带动阀门开启关闭，当阀门与真空舱密合后，为保持真空舱的气密效果，气压缸或油压缸需持续以气压或油压将阀门抵紧于真空舱，以防止阀门与真空舱失去密合。但机器经使用一段时间后，难免会出现磨损问题，尤其气缸或油缸容易因为管路问题而出现气压或油压不足，从而导致阀门与真空舱失去密合、无法维护真空状态。另一方面，依靠动力源带动传动机构，无法解决或者需要较大代价解决阀门要求的快速启动闭合与闭合动作要求动作幅度小减少颗粒产生之间的矛盾。

3、而且，现有结构的阀门需要多段的连杆组结构和线性滑轨，不但结构复杂，而且并不能保证连杆组刚好本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空阀门自锁式启动闭合装置，包括两个阀门（1），其特征在于，一侧所述阀门（1）的顶部固定连接有框架（2），所述框架（2）的一端贯穿并滑动连接有盖板（3），所述框架（2）的一端内壁开设有分布均匀的螺纹槽（16），所述框架（2）的内壁底部固定连接有驱动缸（9），所述框架（2）的内壁两侧底部均固定连接有固定杆（10），所述固定杆（10）的外壁转动连接有蜗轮（11），所述框架（2）的内壁底部两侧均贯穿并滑动连接有螺纹套阀杆（8），所述螺纹套阀杆（8）的内壁设置有传动组件，所述驱动缸（9）的输出端固定连接有驱动轴（26），所述驱动轴（26）的外圈贯穿并设置有横杆（28），所述横杆（28）的...

【技术特征摘要】

1.一种真空阀门自锁式启动闭合装置，包括两个阀门（1），其特征在于，一侧所述阀门（1）的顶部固定连接有框架（2），所述框架（2）的一端贯穿并滑动连接有盖板（3），所述框架（2）的一端内壁开设有分布均匀的螺纹槽（16），所述框架（2）的内壁底部固定连接有驱动缸（9），所述框架（2）的内壁两侧底部均固定连接有固定杆（10），所述固定杆（10）的外壁转动连接有蜗轮（11），所述框架（2）的内壁底部两侧均贯穿并滑动连接有螺纹套阀杆（8），所述螺纹套阀杆（8）的内壁设置有传动组件，所述驱动缸（9）的输出端固定连接有驱动轴（26），所述驱动轴（26）的外圈贯穿并设置有横杆（28），所述横杆（28）的两侧均设置有驱动组件，所述框架（2）的顶部两侧均贯穿并螺纹连接有调节螺钉（6）。

2.根据权利要求1所述的一种真空阀门自锁式启动闭合装置，其特征在于，所述传动组件包括有螺纹杆（17），所述螺纹杆（17）的外壁与螺纹套阀杆（8）的内壁螺纹连接，所述螺纹杆（17）的顶部固定连接有蜗杆（18），所述蜗杆（18）的外圈与蜗轮（11）啮合连接，所述蜗杆（18）的顶部固定连接有滑杆（19），所述滑杆（19）的顶部转动连接有绳杆（15）。

3.根据权利要求1所述的一种真空阀门自锁式启动闭合装置，其特征在于，所述驱动组件包括两个滑块（12），所述滑块（12）的一端均与横杆（28）一侧固定连接，所述滑块（12）的底部两侧均设置有限位块（13），同一侧所述限位块（13）的顶部中间固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞程方，卢永俊，苏中山，
申请(专利权)人：合肥塞美克智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：