一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法技术

本发明专利技术公开了一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，本发明专利技术是要解决在转移敏感材料及电极材料，制造传感器的过程中，有机聚合物残余引起的敏感材料与电极接触电阻过大的技术问题。本发明专利技术以AFM热探针扫描技术为基础，根据AFM热探针释放瞬时热量可以去除聚合物的基本原理，提出了使用热探针扫描技术去除敏感材料表面有机聚合物残余，提高敏感材料与电极材料接触微区界面纯净化方法，实现了敏感材料转移过程中有机聚合物残余的精确去除，达到了微区界面纯净化的目的，进而提高传感器性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器制造，尤其涉及一种基于afm热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法。

技术介绍

1、随着自动化技术的普及，传感器在生产生活中越来愈扮演着至关重要的角色，其应用范围涵盖了环境监测、智能设备、医疗诊断、自动驾驶等众多领域。例如，我们日常生活中离不开的智能手机中包含大量的传感器，其中加速度计和陀螺仪帮助手机实现屏幕自动旋转和精准的动作检测；而在医疗领域，心率监测器和血糖传感器提供了实时健康数据，帮助医生进行精确诊断。关于传感器敏感材料的研究经久不息，因其能够直接感受被测量物理量，是传感器的核心部件。敏感材料的信号输出需要转换元件和变换电路的辅助，其中敏感材料与电极材料的不完全接触带来的电阻将影响传感器的性能，可能会导致传感器的灵敏度下降、信号噪声引入或传感器在部分量程失效。因此，如何确保传感器核心结构中敏感材料和电极接触界面的纯净化，成为了传感器制造技术中的一个关键问题，需要通过制造工艺的改进来解决。

2、二维材料是近年来传感器敏感材料领域研究的热点，其具有的高灵敏度、低响应时间、微型化等特性使其拥有着广泛的应用前景。二维材本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，其特征在于，包括以下步骤：

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【技术特征摘要】

1.一种基于afm热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于afm热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基于afm热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基于afm热探针扫描技术...

【专利技术属性】
技术研发人员：张甲，李松霖，梁帅，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：