【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，具体为一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置。
技术介绍
1、半导体制造始于硅砂，通过加热分离出一氧化碳和硅，获得高纯度硅材料，这些材料被制成晶圆，作为制造的基础，半导体制造过程中通过晶圆氧化、光刻、刻蚀、薄膜沉积、互连、测试和封装等多个步骤，每个步骤都需精确控制，以确保最终产品的质量和性能，因此半导体在制作过程中通过半导体制造设备进行加工，在加工的过程中会产生温度变化，现有的半导体制造设备在使用时会增加温控装置，通过温控装置中管路的冷却液循环流动二进行降温处理，但是冷却液流动的过程中由于缺少精确的温度控制和流量调节控制功能，导致冷却液温度和流量无法进行控制，因此不仅提高了制作成本，同时降低了半导体材料制作的工作效率，而且对半导体制作质量受到影响。
2、根据公告号：cn110993539a提出了一种温控装置及半导体加工设备，温控装置包括冷却组件、测温元件和调控组件；冷却组件的进液口与工艺槽的出液口连接，出液口与调控组件的第一入口连接，用于将工艺槽的出液口输出的部分工艺液体进行冷却，并将冷却后的工艺...
【技术保护点】
1.一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，包括固定座（1），其特征在于：所述固定座（1）上的一端安装有精密液调设备（2），所述固定座（1）上的另一端安装有半导体制造设备（3），所述精密液调设备（2）上的出液口安装有与半导体制造设备（3）配合使用的流量调控机构（4），且所述流量调控机构（4）用与连接精密液调设备（2）和半导体制造设备（3）之间冷却液的流通，所述流量调控机构（4）的一端贯穿半导体制造设备（3）并与精密液调设备（2）的进液口位置连通。
2.根据权利要求1所述的一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，其特征在于：所述精密液调设备（2）包括变频制冷...
【技术特征摘要】
1.一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，包括固定座（1），其特征在于：所述固定座（1）上的一端安装有精密液调设备（2），所述固定座（1）上的另一端安装有半导体制造设备（3），所述精密液调设备（2）上的出液口安装有与半导体制造设备（3）配合使用的流量调控机构（4），且所述流量调控机构（4）用与连接精密液调设备（2）和半导体制造设备（3）之间冷却液的流通，所述流量调控机构（4）的一端贯穿半导体制造设备（3）并与精密液调设备（2）的进液口位置连通。
2.根据权利要求1所述的一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，其特征在于：所述精密液调设备（2）包括变频制冷压缩机（21）和变频水泵（22），所述变频制冷压缩机（21）和变频水泵（22）之间连通有循环管（23），所述变频制冷压缩机（21）的出液口和变频水泵（22）的进液口均安装有支管（24），所述支管（24）与流量调控机构（4）之间连通。
3.根据权利要求2所述的一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，其特征在于：所述流量调控机构（4）包括供液管道（41），所述供液管道（41）的一端与变频制冷压缩机（21）上的支管（24）连通，所述供液管道（41）的一端贯穿半导体制造设备（3）并与变频水泵（22）上的支管（24）连通，所述供液管道（41）靠近变频制冷压缩机（21）的一端安装有流量计（42）和针阀（43），所述供液管道（41）的两端安装有对冷却液提供调控作用的互锁控制组件（44）。
4.根据权利要求3所述的一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置，其特征在于：所述互锁控制组件（44）包括节流管（441），所述节流管（441）的一端安装在靠近针阀（43）的供液管道（41）上，所述节流管（441）的另一端安装在靠近变频水泵（22）的供液管道（41）另一端位置，且所述供液管道（41）...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊正南，
申请(专利权)人：上海巽既环境设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。