下载一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置的技术资料

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本发明公开了一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置,属于半导体制造技术领域,包括固定座,所述固定座上的一端安装有精密液调设备,所述固定座上的另一端安装有半导体制造设备,所述精密液调设备上的出液口安装有与半导体制造设备配合使用的流量调控机构,...
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