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一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置制造方法及图纸
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下载一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置的技术资料
文档序号:44513123
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本发明公开了一种半导体温控设备用冷却液流量调控装置,属于半导体制造技术领域,包括固定座,所述固定座上的一端安装有精密液调设备,所述固定座上的另一端安装有半导体制造设备,所述精密液调设备上的出液口安装有与半导体制造设备配合使用的流量调控机构,...
该专利属于上海巽既环境设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海巽既环境设备有限公司授权不得商用。
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