【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产，尤其涉及一种应急加热装置及半导体设备。
技术介绍
1、在半导体设备中使用的某些化学品，在常温条件下可能会变得过于粘稠甚至发生冷凝，尤其是像某些特殊的化学溶液或是液体金属材料。为了保证这些流体能够持续且稳定地供给到各个工艺环节中，必须通过外部加热手段来维持其必要的流动性。因此，加热带或加热管线系统被广泛应用，它们可以精确控制温度，确保化学品在传输管路中始终保持所需的物理状态，从而保障了半导体制造过程的顺利进行。
2、加热带主要用于维持化学品、气体或其他工艺介质的温度在一定范围内，但当加热带或机台的意外断电会导致温度无法得到有效的控制，导致这些介质的性质发生变化，如粘度增加、固化或冷凝。而冷凝物可能会污染真空环境，影响工艺的纯净度。同时冷凝会导致管路内的气体体积减少，从而改变系统的真空度，影响真空泵的工作效率和整个系统的压力稳定性。冷凝物如果积累过多，可能会堵塞管路或阀门，阻碍气流，导致机械损坏，增加维修成本。
3、目前市面上也有针对管路的应急加热装置，例如公开号为cn102811504a的...
【技术保护点】
1.一种应急加热装置，加热目标由加热源直接加热或应急加热装置辅助加热，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种应急加热装置，其特征在于，当所述加热目标为未带有翅片的管路，所述加热源为加热带，所述加热带设于所述管路外围时，所述加热包设于所述加热带的外围。
3.根据权利要求2所述的一种应急加热装置，其特征在于，所述电磁装置设于所述加热包的外部。
4.根据权利要求3所述的一种应急加热装置，其特征在于，所述电磁装置包括壳体、活动板、安装板、弹簧、扎刺件以及电磁铁，所述壳体靠近加热包布置的一侧设有用于避让所述扎刺件的窗口，所述安装板固...
【技术特征摘要】
1.一种应急加热装置，加热目标由加热源直接加热或应急加热装置辅助加热，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种应急加热装置，其特征在于，当所述加热目标为未带有翅片的管路，所述加热源为加热带，所述加热带设于所述管路外围时，所述加热包设于所述加热带的外围。
3.根据权利要求2所述的一种应急加热装置，其特征在于，所述电磁装置设于所述加热包的外部。
4.根据权利要求3所述的一种应急加热装置，其特征在于，所述电磁装置包括壳体、活动板、安装板、弹簧、扎刺件以及电磁铁，所述壳体靠近加热包布置的一侧设有用于避让所述扎刺件的窗口，所述安装板固定于所述壳体内，所述活动板的一端与所述安装板铰接，所述扎刺件固定于所述活动板上，所述扎刺件具有一个或多个尖状结构，所述尖状结构朝向所述窗口，所述弹簧的一端与所述活动板连接，所述弹簧的另一端与所述安装板连接，所述电磁铁通电时，所述电磁铁吸附住所述扎刺件，所述扎刺件进行弹性蓄力，所述电磁铁断电时，所述扎刺件摆脱所述电磁铁的吸附并在所述弹簧的弹力作用下戳破所述加热包。
5.根据权利要求1所述的一种应急加热装置，其特征在于，当所述加热目标为带有翅片的管路，所述加热源为加热带，所述加热带设于所述管路的所述翅片的外围时，所述加热包设于相邻两个所述翅片的间隙之间。
6.根据权利要求5所述的一种应急加热装置，其特征在于，所述电磁装置设于上下两段所述加热带的对接处，以及与上下两段所述加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：李连杰，赵坤，朱涛，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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