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一种应急加热装置及半导体设备制造方法及图纸
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下载一种应急加热装置及半导体设备的技术资料
文档序号:44482830
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本发明公开了一种应急加热装置及半导体设备,加热目标由加热源直接加热或应急加热装置辅助加热,应急加热装置包括加热包和电磁装置,加热包与加热源或加热目标表面接触,加热包中包含加热物质,加热物质接触氧气会产生热量,电磁装置被安装于加热包的一侧,加...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。
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