【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体封装,尤其涉及一种基于两段顶升结构的顶针头。
技术介绍
1、目前市面上的固晶设备的顶针头模块,基本上是单段式顶出,用旋转电机连接凸轮机构或者音圈电机做直线上下运动,使内部的单段式机构向上顶出,直接用针头部分接触产品。根据p=f/s,当产品面积较大时,产品与蓝膜的接触面积也较大,需要的f也增大,但用针头直接接触产品时,s较小,则产生的p会增大,容易损坏产品。
技术实现思路
1、本技术目的在于提供一种顶针头表面的精确控温,来降低晶圆膜的粘性,以应对芯片较薄且膜粘性较高的芯片取料场景的芯片顶出装置。
2、为实现上述目的,本技术的技术方案如下:
3、一种基于两段顶升结构的顶针头,顶针头包括第一外壳、第二外壳、顶针轴、顶针下端固定座、顶针密封垫块、顶针上端固定座和顶针帽,顶针下端固定座上依次设有顶针密封垫块、顶针上端固定座和顶针帽,第二外壳设置在顶针下端固定座、顶针密封垫块、顶针上端固定座和顶针帽的空腔内,第二外壳内套设有第一外壳,第一外壳上方设有第一阶段顶盖
...【技术保护点】
1.一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述顶针头包括第一外壳(9)、第二外壳(11)、顶针轴(5)、顶针下端固定座(1)、顶针密封垫块(6)、顶针上端固定座(10)和顶针帽(15);
2.根据权利要求1所述的一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述第一外壳(9)和第二外壳(11)之间设有第一滚珠衬套(12)。
3.根据权利要求2所述的一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述第一外壳(9)和顶针轴(5)之间设有第二滚珠衬套(13)。
4.根据权利要求3所述的一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述吸附气路包括
...【技术特征摘要】
1.一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述顶针头包括第一外壳(9)、第二外壳(11)、顶针轴(5)、顶针下端固定座(1)、顶针密封垫块(6)、顶针上端固定座(10)和顶针帽(15);
2.根据权利要求1所述的一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述第一外壳(9)和第二外壳(11)之间设有第一滚珠衬套(12)。
3.根据权利要求2所述的一种基于两段顶升结构的顶针头,其特征在于:所述第一外壳(9)和顶针轴(5)之间设有第二滚珠衬套(13)。
4.根据权利要求3所述的一种基于两段...
【专利技术属性】
技术研发人员:汤毅韬,高翔,田泽均,李博洋,余飞,
申请(专利权)人:珠海市硅酷科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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