【技术实现步骤摘要】
本技术涉及键合机运动平台，具体是涉及一种键合机用高速高精度二维运动平台。
技术介绍
1、键合机是一种在半导体制造过程中用来实现芯片和外部引线之间连接的设备。随着电子产品的迅速发展，特别是移动设备和通信技术的进步，对于电子元件的精密度和可靠性要求越来越高，故而，高速高精度的二维运动平台开始出现并被广泛使用，其能够确保微型电子元件(如芯片、电阻器、电容器等)在印刷电路板(pcb)上的精确定位和连接，以方便后续进行点焊处理。
2、高速高精度的运动平台需要保持稳定性和精度，需要对移动过程中产生的机械振动进行消除，以避免机械振动导致连接错误或者损坏元件的情况出现，保证运动平台的高精度运动，基于此，本方案提供一种键合机用高速高精度二维运动平台解决上述提出的问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，提供一种键合机用高速高精度二维运动平台，本技术方案解决了上述
技术介绍
中提出的需要对移动过程中产生的机械振动进行消除，以避免机械振动导致连接错误或者损坏元件的情况出现，保证运动平台可以高精度运动
【技术保护点】
1.一种键合机用高速高精度二维运动平台，其特征在于，包括Y轴电机底座(1)和X轴电机底座(2)，所述X轴电机底座(2)设置在Y轴电机底座(1)的左侧，所述Y轴电机底座(1)的顶端后侧固定安装有Y轴电机定圈滑轨(101)，所述Y轴电机定圈滑轨(101)的上端滑动安装有Y轴音圈电机(3)，所述X轴电机底座(2)的顶端固定安装有X轴电机定圈滑轨(201)，所述X轴电机定圈滑轨(201)的上端滑动安装有X轴音圈电机(4)，所述Y轴音圈电机(3)的下端安装有Y轴音圈电机定圈阻尼器(9)，所述X轴音圈电机(4)的下端安装有X轴音圈电机定圈阻尼器(10)，所述Y轴音圈电机定圈阻尼器...
【技术特征摘要】
1.一种键合机用高速高精度二维运动平台，其特征在于，包括y轴电机底座(1)和x轴电机底座(2)，所述x轴电机底座(2)设置在y轴电机底座(1)的左侧，所述y轴电机底座(1)的顶端后侧固定安装有y轴电机定圈滑轨(101)，所述y轴电机定圈滑轨(101)的上端滑动安装有y轴音圈电机(3)，所述x轴电机底座(2)的顶端固定安装有x轴电机定圈滑轨(201)，所述x轴电机定圈滑轨(201)的上端滑动安装有x轴音圈电机(4)，所述y轴音圈电机(3)的下端安装有y轴音圈电机定圈阻尼器(9)，所述x轴音圈电机(4)的下端安装有x轴音圈电机定圈阻尼器(10)，所述y轴音圈电机定圈阻尼器(9)和所述x轴音圈电机定圈阻尼器(10)均设置有一对，且均对称安装。
2.根据权利要求1所述的一种键合机用高速高精度二维运动平台，其特征在于：所述y轴电机底座(1)的顶端前侧固定连接有x轴滑轨底座(5)，所述x轴滑轨底座(5)的顶端固定安装有x轴高精度滑轨(6)。
3.根据权利要求2所述的一种键合机用高速高精度二维运动平台，其特征在于：所述x轴高精度滑轨(6)的顶端滑动连接有y轴滑轨底座(7)，所述y轴滑轨底座(7)的顶端滑动连接有y轴高精度滑轨(8)。
4.根据权利要求1所述的一种键合机用高速高精度二维运动平台，其特征在于：所述y轴音...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊勇，晋宏飞，
申请(专利权)人：苏州芯长源半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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