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本技术公开了一种键合机用高速高精度二维运动平台，涉及键合机运动平台技术领域，包括Y轴电机底座和X轴电机底座，所述Y轴电机底座的顶端后侧固定安装有Y轴电机定圈滑轨，所述Y轴电机定圈滑轨的上端滑动安装有Y轴音圈电机，所述X轴电机底座的顶端固定安...
该专利属于苏州芯长源半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯长源半导体设备有限公司授权不得商用。

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