【技术实现步骤摘要】
本技术涉及外观检测，特别涉及一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置。
技术介绍
1、激光干涉测量的基础是迈克尔逊干涉仪的典型干涉光路，其利用干涉光路让激光源发射的激光分别射向测量面与参考面，然后被测量面和参考面反射回来，反射回来的激光汇合后会产生干涉，通过干涉光强计算出测量面与参考面之间的绝对距离，这就是激光干涉测量原理。干涉条纹的明暗变化反映了物光和参考光之间的相位差，这些相位差与物体表面的高低起伏有关，利用光学成像系统捕获干涉图样，并通过计算机进行图像处理和分析，从而可以精确测量被测物体的表面形貌；例如公开号为cn112505057a的中国专利技术专利公开了一种滚动面缺陷检测系统和方法，其将将高斯激光束调整为平顶光束，改变振镜的驱动信号，以获取平顶光束经由振镜扫描后照射到旋转的待测滚动面上的三幅不同的目标图像，基于三幅不同的目标图像，通过三步相移算法提取待测滚动面的包裹相位信息，通过包裹相位信息获得待测滚动面的调制度图，平顶光束的光强随时间发生变化，所以通过改变振镜的驱动信号可以得到条纹相差一定相位的不同目标图像，基于三幅不...
【技术保护点】
1.一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置，其特征在于：包括发射端(20)和接收端(18)；所述发射端(20)包括线偏正激光器(1)，线偏正激光器(1)的激光发射方向依次设有正交偏振光束产生模块(17)和线性扩散板(6)；所述接收端(18)包括成像镜头(11)，成像镜头(11)沿激光传输方向依次设有第二半波片(12)和分光镜(13)，分光镜(13)的透射和反射方向上分别设有第二偏振分光镜(14)和第三偏振分光镜(16)；所述第二偏振分光镜(14)和第三偏振分光镜(16)的偏振光路方向分别设有线阵相机(19)。
2.根据权利要求1所述的基于偏振干涉的...
【技术特征摘要】
1.一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置，其特征在于：包括发射端(20)和接收端(18)；所述发射端(20)包括线偏正激光器(1)，线偏正激光器(1)的激光发射方向依次设有正交偏振光束产生模块(17)和线性扩散板(6)；所述接收端(18)包括成像镜头(11)，成像镜头(11)沿激光传输方向依次设有第二半波片(12)和分光镜(13)，分光镜(13)的透射和反射方向上分别设有第二偏振分光镜(14)和第三偏振分光镜(16)；所述第二偏振分光镜(14)和第三偏振分光镜(16)的偏振光路方向分别设有线阵相机(19)。
2.根据权利要求1所述的基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置，其特征在于：所述正交偏振光束产生模块(17)包括接收线偏正激光器(1)发射激光的第一偏振分光镜(8)，第一偏振分光镜(8)的p偏振光路方向和s偏振光路方向均设有第一1/4波片(9)和第一反射镜(10)。
3.根据权利要求1所述的基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置，其特征在于：所述线...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱勇建，方森，张腾远，王强成伟，王钰森，刘云龙，陈耿煜，何佼，曲章，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：新型
国别省市：
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