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一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置制造方法及图纸
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下载一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置的技术资料
文档序号:44366929
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本技术公开了一种基于偏振干涉的轴承滚子外观线扫条纹检测装置,包括发射端(20)和接收端(18);所述发射端(20)包括线偏正激光器(1),线偏正激光器(1)的激光发射方向依次设有正交偏振光束产生模块(17)和线性扩散板(6);所述接收端(1...
该专利属于深圳技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳技术大学授权不得商用。
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