激光加工装置、制备金属电极的方法、光伏电池制造方法及图纸

本发明专利技术涉及光伏电池的技术领域，提供了一种激光加工装置、制备金属电极的方法和光伏电池。该激光加工系统实现了在选择性金属化的同时进行重熔与凝固，增加附着力的同时释放了电极的内应力，可有效降低孔隙率；而且可以简化了工艺流程，解决了二次加工位置校准难的问题，提高了加工效率。该制备金属电极的方法可以对铜电极位置进行精准加工，解决了目前丝网印刷精度的问题，还能避免了对非晶硅层的损伤，制备的铜电极具有较大的高宽比，可有效提高光转化效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏电池的，具体涉及一种激光加工装置、制备金属电极的方法和光伏电池。

技术介绍

1、硅异质结(hjt)电池是一种高效太阳电池，由于其具有工艺简单、转换效率高、低温工艺、双面发电等一系列优势成为目前最有发展前景的太阳能电池技术之一。金属栅线电极是硅异质结电池里最重要的结构和材料，其主要功能是收集光伏效应产生的载流子，从而引出光伏效应产生的电流。

2、目前行业内最常用的制备电极的方法为丝网印刷银浆，该工艺方法具有工艺简单成熟、适合大量生产等优点。但受限于印刷板的精度，电极高宽比小，遮光面积较大，丝网印刷的工艺难度越来越大，虚印断栅导致的良品率下降明显，限制了太阳能电池转换效率的进一步提高。另一方面，由于hjt电池的固有特性，加工工艺需控制在200℃左右，需使用低温银浆。然而低温银浆导电性较差、与ito膜(transparent conductive oxide)接触电阻高、印刷性能差，异质结电池的浆料增重较大，占据整个异质结加工电池的成本的约30～40％，且银浆价格昂贵，使得太阳能电池的制造成本居高不下，不利于电池向高效低成本的方向发本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种激光加工系统，其特征在于，用于制备太阳能电池的金属电极，所述激光加工系统包括：移动工作平台、第一光路系统、第二光路系统和复合光路系统；

2.根据权利要求1所述的激光加工系统，其中，所述第一光路调节系统包括依次设置的第一光学元件，第一扩束镜和第一反射镜组，其中，所述第一光学元件组靠近所述脉冲激光器，所述第一反射镜组靠近所述复合光路系统，所述第一光学元件用于调节脉冲激光的偏振性；

3.根据权利要求2所述的激光加工系统，其中，所述第一反射镜组包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜靠近所述第一扩束镜，且与所述第一扩束镜呈第二预设角度设置，所述第二反射镜与所述第...

【技术特征摘要】

1.一种激光加工系统，其特征在于，用于制备太阳能电池的金属电极，所述激光加工系统包括：移动工作平台、第一光路系统、第二光路系统和复合光路系统；

2.根据权利要求1所述的激光加工系统，其中，所述第一光路调节系统包括依次设置的第一光学元件，第一扩束镜和第一反射镜组，其中，所述第一光学元件组靠近所述脉冲激光器，所述第一反射镜组靠近所述复合光路系统，所述第一光学元件用于调节脉冲激光的偏振性；

3.根据权利要求2所述的激光加工系统，其中，所述第一反射镜组包括第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜靠近所述第一扩束镜，且与所述第一扩束镜呈第二预设角度设置，所述第二反射镜与所述第一反射镜平行设置，且所述第二反射镜靠近所述复合光路系统；

4.根据权利要求3所述的激光加工系统，其中，还包括监测设备，与所述振镜同轴设置，用于监测所述复合光束的加工过程；

5.一种制备金...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢小柱，李兆艳，罗宇航，黄亚军，周涛，彭柱根，顷淮斌，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：