【技术实现步骤摘要】
本申请涉及谐振器，具体而言，涉及一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器。
技术介绍
1、当前，随着无线通讯技术的快速发展，更高频段收发信息的设备越来越多，对射频前端电路的要求越来越苛刻，因此高性能滤波器市场需求越来越大。体声波滤波器凭借其高品质因子、带外抑制好、高矩形系数等特点，正逐渐成为市场的主流。
2、体声波滤波器是由多个谐振器按特定电路级联构成。高性能滤波器需要高性能谐振器，高性能谐振器具有高品质因子，高品质因子能让滤波器具有更小的插入损耗和更陡峭的滚降特性，拥有更优越的滤波性能。综上所述，制备稳定性高、性能优越的谐振器非常重要。
3、由于谐振器材料机电耦合系数的限制，体声波滤波器的带宽较小，在实际应用中通常外加电容或电感等无源器件作为匹配电路或增加滤波器的带宽、调节滤波特性等。表贴电容器件广泛应用于手机、计算机、平板电脑、电视机、数码相机、音响设备、汽车电子等各种电子产品中，然而，在滤波器中使用时需要连接进谐振器滤波电路，需要额外的走线，并且其尺寸相比谐振器较大，使得滤波器性能下降、面积无法减小，极大的限制...
【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极、压电层和顶电极，其中，所述衬底上设置有凹槽，所述底电极、所述压电层和所述顶电极在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，所述顶电极包括位于所述谐振区域内的第一电极图案以及位于所述谐振区域外且与所述第一电极图案呈间隔设置的第二电极图案，所述第二电极图案上依次设置有介质层和第三电极图案，所述第二电极图案、所述介质层和所述第三电极图案形成电容。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述衬底与所述底电极之间设置有种子层。
3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及依次设置于所述衬底上的底电极、压电层和顶电极，其中，所述衬底上设置有凹槽，所述底电极、所述压电层和所述顶电极在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，所述顶电极包括位于所述谐振区域内的第一电极图案以及位于所述谐振区域外且与所述第一电极图案呈间隔设置的第二电极图案，所述第二电极图案上依次设置有介质层和第三电极图案，所述第二电极图案、所述介质层和所述第三电极图案形成电容。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述衬底与所述底电极之间设置有种子层。
3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述种子层的材料与所述压电层的材料相同。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述压电层和所述顶电极之间设置有质量负载层。
5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，在所述顶电极和所述第三电极图案上设置有钝化层。
6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩金钊，蔡耀，代金豪，孙博文，孙成亮，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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