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本申请公开一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及谐振器技术领域。该体声波谐振器包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极，其中，衬底上设置有凹槽，底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，顶电极包括位于谐振区域...
该专利属于武汉敏声新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏声新技术有限公司授权不得商用。

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