【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片封测，具体涉及一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台。
技术介绍
1、半导体芯片封测过程中，光阻厚度的均匀性非常重要，在光阻涂布时，光阻应该滴落于晶圆中心，然后通过高速旋转，使其在晶圆表面均匀分布。所以喷嘴也位于晶圆正上方，实际使用中由于各种原因，会导致喷嘴和晶圆的相对产生位置偏移，需要定期确认调整。
2、目前的工厂一般通过挡片试涂方式，对光阻涂布位置进行偏移检测，即使用挡片进行光阻试涂，观察确认光阻着点是否在导片中心，容易造成光阻的浪费，后期需要对涂布后挡片进行清洗回收，造成人工成本较高，晶圆在光阻涂布过程，无法进行偏移监测。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，包括底座、盒座、用于放置晶圆的定位台、升降板和喷嘴本体，所述盒座贯穿且固定安装于底座的顶端，所述定位...
【技术保护点】
1.一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，包括底座(1)、盒座(2)、用于放置晶圆的定位台(3)、升降板(4)和喷嘴本体(5)，其特征在于：所述盒座(2)贯穿且固定安装于底座(1)的顶端，所述定位台(3)活动安装于盒座(2)的顶端，所述升降板(4)通过支撑组件安装于底座(1)的上方，所述定位台(3)内设置有用于监测喷嘴本体(5)位置的偏移监测组件；
2.根据权利要求1所述的一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，其特征在于：所述接收环板(8)与喷嘴本体(5)呈套接设置，所述喷嘴本体(5)、通孔(6)、激光发射器(7)和接收环板(8)呈共轴
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【技术特征摘要】
1.一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，包括底座(1)、盒座(2)、用于放置晶圆的定位台(3)、升降板(4)和喷嘴本体(5)，其特征在于：所述盒座(2)贯穿且固定安装于底座(1)的顶端，所述定位台(3)活动安装于盒座(2)的顶端，所述升降板(4)通过支撑组件安装于底座(1)的上方，所述定位台(3)内设置有用于监测喷嘴本体(5)位置的偏移监测组件；
2.根据权利要求1所述的一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，其特征在于：所述接收环板(8)与喷嘴本体(5)呈套接设置，所述喷嘴本体(5)、通孔(6)、激光发射器(7)和接收环板(8)呈共轴设置。
3.根据权利要求1所述的一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，其特征在于：所述支撑组件包括盒架(9)，所述盒架(9)固定安装于底座(1)的顶端，所述盒架(9)的顶壁和底壁之间固定安装有两个支撑杆(10)，所述升降板(4)滑动安装于两个支撑杆(10)之间，所述盒架(9)内设置有用于驱动升降板(4)升降的驱动机构。
4.根据权利要求3所述的一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂...
【专利技术属性】
技术研发人员：王秋华，李昊，李志祥，季成飞，丁杨思颖，
申请(专利权)人：浙江芯植微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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