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本技术涉及芯片封测技术领域，具体公开了一种具有喷嘴偏移监测结构的光阻涂布用晶圆承载台，包括底座、盒座、用于放置晶圆的定位台、升降板和喷嘴本体，所述盒座贯穿且固定安装于底座的顶端，所述定位台活动安装于盒座的顶端，所述升降板通过支撑组件安装于底...
该专利属于浙江芯植微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江芯植微电子科技有限公司授权不得商用。

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