一种离子注入机用防微振基座组件制造技术

本技术公开了一种离子注入机用防微振基座组件，属于防微振基座技术领域；包括防微振基座，所述防微振基座的上端内部放置有离子注入机本体，所述防微振基座的内部设置有固定机构，且固定机构左右对称设置有两组，所述固定机构包括限位板和抵接限位杆，所述抵接限位杆远离离子注入机本体的一端设置有转动块，所述转动块的中间设置有转杆，所述转杆的圆周表面设置有齿轮；通过设置的固定机构，在需要对离子注入机进行安装时，将离子注入机下端插入防微振基座内部，接着将抵接限位杆移出防微振基座，然后将抵接限位杆移动至离子注入机侧壁并抵接其上端侧面，完成离子注入机的固定工作，操作简单快捷，实用性高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于防微振基座，具体涉及一种离子注入机用防微振基座组件。

技术介绍

1、防微振基座是一种用于减少或消除微振动的设备，广泛应用于需要高精度和稳定性的场合，如半导体制造、光学仪器、精密机械等领域，它的主要功能是隔离来自外部环境的振动干扰，从而保护安装在基座上的设备如离子注入机等免受振动影响，确保其稳定运行和精确测量。

2、然而现有的防微振基座上在安装拆卸时较为麻烦，且在拆装过程中，安装工具不可避免的会碰撞摩擦离子注入机，导致离子注入机发生损坏或磨损表面，影响使用和离子注入机的外观，为此我们提出一种离子注入机用防微振基座组件。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种离子注入机用防微振基座组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种离子注入机用防微振基座组件，包括防微振基座，所述防微振基座的上端内部放置有离子注入机本体，所述防微振基座的内部设置有固定机构，且固定机构左右对称设置有两组，所述固定机构包括限位板和抵接限位杆，所述抵接限位杆远离离本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种离子注入机用防微振基座组件，包括防微振基座(1)，所述防微振基座(1)的上端内部放置有离子注入机本体(2)，其特征在于：所述防微振基座(1)的内部设置有固定机构(3)，且固定机构(3)左右对称设置有两组，所述固定机构(3)包括限位板(301)和抵接限位杆(302)，所述抵接限位杆(302)远离离子注入机本体(2)的一端设置有转动块(303)，所述转动块(303)的中间设置有转杆(304)，所述转杆(304)的圆周表面设置有齿轮(305)，所述齿轮(305)的下端啮合连接有齿板(306)，所述齿板(306)靠近限位板(301)的一端设置有推板(307)，所述推板(307)通过弹簧(...

【技术特征摘要】

1.一种离子注入机用防微振基座组件，包括防微振基座(1)，所述防微振基座(1)的上端内部放置有离子注入机本体(2)，其特征在于：所述防微振基座(1)的内部设置有固定机构(3)，且固定机构(3)左右对称设置有两组，所述固定机构(3)包括限位板(301)和抵接限位杆(302)，所述抵接限位杆(302)远离离子注入机本体(2)的一端设置有转动块(303)，所述转动块(303)的中间设置有转杆(304)，所述转杆(304)的圆周表面设置有齿轮(305)，所述齿轮(305)的下端啮合连接有齿板(306)，所述齿板(306)靠近限位板(301)的一端设置有推板(307)，所述推板(307)通过弹簧(308)与限位板(301)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用防微振基座组件，其特征在于：所述转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙小冬，王维，宋振海，
申请(专利权)人：无锡翔域半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：