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本技术公开了一种离子注入机用防微振基座组件，属于防微振基座技术领域；包括防微振基座，所述防微振基座的上端内部放置有离子注入机本体，所述防微振基座的内部设置有固定机构，且固定机构左右对称设置有两组，所述固定机构包括限位板和抵接限位杆，所述抵接...
该专利属于无锡翔域半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡翔域半导体有限公司授权不得商用。

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