蒸发源和蒸镀设备制造技术

技术编号:44214901 阅读:103 留言:0更新日期:2025-02-06 18:47
本申请公开了一种蒸发源和蒸镀设备,该蒸发源包括支撑件和隔热件,支撑件包括开口和与开口连通的腔体,腔体内放置有能够产生蒸镀气体的蒸发件;隔热件盖设于支撑件的开口,隔热件包括用于容置换热介质的热交换通道以及与腔体连通的蒸镀通道,蒸镀气体能够通过蒸镀通道排出支撑件。通过在蒸发源中设置具有热交换通道的隔热件,热交换通道内的换热介质能够调节整个隔热件的温度,隔热件处于相对较低的温度从而能够有效地减少因蒸发件加热而传递至基片的辐射热能,使得基片的温度处于理想的温度范围并得到质量更优的钙钛矿薄膜,从而提高钙钛矿太阳电池的光电转化效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及太阳电池设备领域,尤其涉及一种蒸发源和蒸镀设备


技术介绍

1、近年来,钙钛矿太阳电池在光伏领域受到广泛关注,由于钙钛矿太阳电池结合了钙钛矿材料和硅材料各自的优势,使钙钛矿太阳电池具有良好的光电转换效率。

2、在制备钙钛矿太阳电池的钙钛矿吸光层时,通常采用蒸镀法结合旋涂法,即在基片上采用蒸镀法真空沉积钙钛矿薄膜,再在钙钛矿薄膜上旋涂阳离子溶液,使阳离子溶液与碘化铅反应得到钙钛矿吸光层。在蒸镀过程中,蒸发源产生高温的蒸镀气体附着于基片以形成钙钛矿薄膜,但是连续的蒸镀使基片的温度过高,钙钛矿薄膜由于高温产生重结晶并过于致密,这将影响后续与阳离子溶液的反应过程,导致钙钛矿吸光层的质量不理想,同时也降低了钙钛矿太阳电池的电池性能。


技术实现思路

1、本申请实施例公开了一种蒸发源和蒸镀设备,该蒸发源能够有效阻隔高温,可以将基片的温度控制在合适的温度范围,从而使得基片上形成的钙钛矿薄膜具有理想的密度和均匀性,从而提升钙钛矿太阳电池的电池性能。

2、为了实现上述目的,第一方面,本申请实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括:

2.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的蒸发源,其特征在于,

4.根据权利要求2所述的蒸发源,其特征在于,

5.根据权利要求4所述的蒸发源,其特征在于,

6.根据权利要求4所述的蒸发源,其特征在于,

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发源,其特征在于,

8.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发源,其特征在于,所述蒸发源还包括:

9.根据权利要求8所述的蒸发源,其特征在于,

10.根据权利要求8所述的蒸发...

【技术特征摘要】

1.一种蒸发源,其特征在于,所述蒸发源包括:

2.根据权利要求1所述的蒸发源,其特征在于,

3.根据权利要求2所述的蒸发源,其特征在于,

4.根据权利要求2所述的蒸发源,其特征在于,

5.根据权利要求4所述的蒸发源,其特征在于,

6.根据权利要求4所述的蒸发源,其特征在于,

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发源,其特征在于,

8.根据权利要求1至6中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈鑫龙巍张一峰赵晖
申请(专利权)人:通威太阳能成都有限公司
类型:新型
国别省市:

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