下载蒸发源和蒸镀设备的技术资料

文档序号:44214901

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本申请公开了一种蒸发源和蒸镀设备,该蒸发源包括支撑件和隔热件,支撑件包括开口和与开口连通的腔体,腔体内放置有能够产生蒸镀气体的蒸发件;隔热件盖设于支撑件的开口,隔热件包括用于容置换热介质的热交换通道以及与腔体连通的蒸镀通道,蒸镀气体能够通过...
该专利属于通威太阳能(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(成都)有限公司授权不得商用。

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