【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其是一种晶圆寻边方法、系统、装置与存储介质。
技术介绍
1、图像式寻边器是一种基于机器视觉的边缘检测仪器，其原理是利用图像处理技术来自动待测量晶圆边缘的位置和形状。图像式寻边器通过摄像头采集晶圆图像，并将图像转换为数字信号。利用图像处理算法对数字信号进行处理和分析，以检测晶圆边缘。常用的边缘检测算法包括canny算法、sobel算法、laplacian算法等。这些算法通过对图像像素的亮度变化进行分析，可以准确地检测出晶圆边缘的位置和形状。但是图像式寻边方法当晶圆表面存在反光或阴影时，会影响图像的清晰度和对比度，而且图像采集过程中可能受到噪声干扰以及不同颜色和纹理的晶圆对光线的吸收和反射特性不同等因素会导致边缘检测不准确。因此相关技术中仍存在需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于至少一定程度上解决现有技术中存在的技术问题之一。
2、为此，本申请实施例的一个目的在于提供一种晶圆寻边方法、系统、装置与存储介质，该方案可以提高晶圆检测的准确度。p>
3、为了达本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆寻边方法，其特征在于，通过晶圆寻边器实现，所述晶圆寻边器包括旋转平台、第一传感器以及第二传感器，方法包括：
2.根据权利要求1所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述根据所述第一距离以及所述第二距离，将所述中心位置调整至与所述旋转平台的中心重合：
3.根据权利要求2所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述确定所述第一距离以及所述第二距离之间的平均距离差，具体包括：
4.根据权利要求3所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述确定所述第一距离以及所述第二距离的距离差，包括：
5.根据权利要求1所述一种晶圆寻边方法，其特...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆寻边方法，其特征在于，通过晶圆寻边器实现，所述晶圆寻边器包括旋转平台、第一传感器以及第二传感器，方法包括：
2.根据权利要求1所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述根据所述第一距离以及所述第二距离，将所述中心位置调整至与所述旋转平台的中心重合：
3.根据权利要求2所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述确定所述第一距离以及所述第二距离之间的平均距离差，具体包括：
4.根据权利要求3所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述确定所述第一距离以及所述第二距离的距离差，包括：
5.根据权利要求1所述一种晶圆寻边方法，其特征在于，所述当所述中心位置与所述旋转平台的中心重合时，控制旋转平台和晶圆以预设转速旋转并进...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧义星，徐彬，陈广平，
申请(专利权)人：怡洋半导体深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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