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本申请公开了一种晶圆寻边方法、系统、装置和存储介质，其中方法通过晶圆寻边器实现，晶圆寻边器包括旋转平台、第一传感器以及第二传感器，方法包括：获取置于旋转平台上的晶圆的中心位置；当中心位置与旋转平台的中心不重合时，确定第一传感器到晶圆侧边的第...
该专利属于怡洋半导体（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过怡洋半导体（深圳）有限公司授权不得商用。

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