Micro OLED的Pad露出方法、Micro OLED及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种Micro OLED的Pad露出方法，包括步骤：在驱动电路衬底上制备阳极材料层；在阳极材料层上涂覆光刻胶；掩模版曝光并显影光刻胶；制备Pad刻蚀阻挡层；去除光刻胶；OC胶图案化；Pad介电质刻蚀露出。本发明专利技术的Micro OLED的Pad露出方法，利用阳极材料层当作Pad刻蚀阻挡层，Pad露出工序只需要一次刻蚀，减少了一次涂胶、曝光、显影加工步骤，降低了制造成本，提高了生产良率。本发明专利技术还公开了一种Micro OLED的制造方法和Micro OLED。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体，具体地说，本专利技术涉及一种micro oled的pad露出方法、micro oled及其制造方法。

技术介绍

1、有机发光二极管(organic light-emitting device，简称为oled显示器)因具有低成本、功耗低、响应速度快、视角广、对比度高、亮度高以等一系列优点，被业界普遍视为最具前途的照明和显示设备之一。随着科技的进步与科技的发展，人们在追求显示效果的体验上也有着更高的需求，加之穿戴配套显示设备使其物理意义上的方法路径可行，5g时代的到来会解决数据量传输的问题，因此近年来micro oled(organic light emittingdisplay)被称为下一代显示技术的黑马，现已广泛应用于机戴头盔、枪瞄、夜视仪等军用市场，并且随着ar/vr以及自动驾驶等新技术的应用，micro oled微显示器将迎来爆发式的增长。

2、现有硅基oled的pad(焊盘区域)露出工艺流程是依次通过旋涂光刻胶、光刻、曝光、显影再刻蚀和去胶的工序，利用光刻胶当作刻蚀时的阻挡材料，形成刻蚀阻挡层，这种工艺需要额外增加多本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.Micro OLED的Pad露出方法，其特征在于，包括步骤：

2.根据权利要求1所述的Micro OLED的Pad露出方法，其特征在于，在所述驱动电路衬底上制备阳极材料层，所述Pad刻蚀阻挡层为Pad金属上方区域的阳极材料层经过刻蚀保留下的区域。

3.根据权利要求2所述的Micro OLED的Pad露出方法，其特征在于，在所述驱动电路衬底上通过磁控溅射的方法沉积所述阳极材料层。

4.根据权利要求2所述的Micro OLED的Pad露出方法，其特征在于，所述阳极材料层为金属和金属氧化物的堆叠物。

5.根据权利要求4所述的Micro OLE...

【技术特征摘要】

1.micro oled的pad露出方法，其特征在于，包括步骤：

2.根据权利要求1所述的micro oled的pad露出方法，其特征在于，在所述驱动电路衬底上制备阳极材料层，所述pad刻蚀阻挡层为pad金属上方区域的阳极材料层经过刻蚀保留下的区域。

3.根据权利要求2所述的micro oled的pad露出方法，其特征在于，在所述驱动电路衬底上通过磁控溅射的方法沉积所述阳极材料层。

4.根据权利要求2所述的micro oled的pad露出方法，其特征在于，所述阳极材料层为金属和金属氧化物的堆叠物。

5.根据权利要求4所述的micro oled的pad露出方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏峰，吕迅，祖伟，尹立平，徐瑞，孙伟，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：