【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体晶体制造领域,具体而言,涉及一种固毡及其制备方法和应用。
技术介绍
1、拉制单晶所用的固化毡的制作方法包括剪毡、配胶、刷胶、制作成型、高温烘箱、机械加工、涂层、高温煅烧和检测等步骤。现有固毡叠层固化工艺方式,保温毡固化后,保温的效果相比于软毡会变差。
2、固毡与软毡相比,具有更好的稳定性和耐用性,但软毡在热传导和保温性能方面表现更佳。固毡和软毡都是石墨毡的一种,它们在制造工艺、性能和应用方面有所不同。固毡是通过回收废旧软毡制作而成,其制备方法包括将废旧软毡破碎成小块,加入石墨胶粘合剂和无水乙醇溶剂搅拌,然后填充到模具中压制成型,最后脱模得到固毡。
3、这种制备方法使得固毡在稳定性方面有所提升,能够广泛应用于各种需要稳定支撑的场合。然而,由于固毡是通过回收再利用废旧软毡制成的,其原始的柔软性和热传导性能可能有所降低,导致其保温性能有所下降。
4、有鉴于此,特提出本专利技术。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种固毡及其制备方法
...【技术保护点】
1.一种固毡,其特征在于,包括:基体以及设置在所述基体内部的若干个环形空腔;
2.根据权利要求1所述的固毡,其特征在于,包括以下技术特征中的至少一个:
3.根据权利要求1所述的固毡,其特征在于,所述固化涂层的厚度为2~4mm;
4.根据权利要求3所述的固毡,其特征在于,所述粘合剂包括:呋喃树脂;
5.如权利要求1~4任一项所述的固毡的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
6.根据权利要求5所述的固毡的制备方法,其特征在于,包括以下技术特征中的至少一个:
7.根据权利要求5所述的固毡的制备方法,其特
...【技术特征摘要】
1.一种固毡,其特征在于,包括:基体以及设置在所述基体内部的若干个环形空腔;
2.根据权利要求1所述的固毡,其特征在于,包括以下技术特征中的至少一个:
3.根据权利要求1所述的固毡,其特征在于,所述固化涂层的厚度为2~4mm;
4.根据权利要求3所述的固毡,其特征在于,所述粘合剂包括:呋喃树脂;
5.如权利要求1~4任一项所述的固毡的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
6.根据权利要求5所述的固毡的制备方法,其特征在于,包括以下技术特征中的至...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵国伟,金霞,乔乐,武辉,付明全,
申请(专利权)人:青海高景太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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