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本发明涉及半导体晶体制造领域,具体而言,涉及一种固毡及其制备方法和应用。所述的固毡,包括:基体以及设置在所述基体内部的若干个环形空腔;所述环形空腔的表面设置有固化涂层。所述的固毡具有良好的保温性能,导电性、稳定性和耐用性表现良好,能够提高光...该专利属于青海高景太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海高景太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及半导体晶体制造领域,具体而言,涉及一种固毡及其制备方法和应用。所述的固毡,包括:基体以及设置在所述基体内部的若干个环形空腔;所述环形空腔的表面设置有固化涂层。所述的固毡具有良好的保温性能,导电性、稳定性和耐用性表现良好,能够提高光...