气体传感器及其制备方法技术

本申请公开了一种气体传感器及其制备方法，属于半导体技术领域。该气体传感器包括衬底、沟道层和势垒层，源极和漏极均设置于势垒层的远离衬底的一侧，第一电极和第二电极分别与源极和漏极电连接，栅极设置于源极与漏极之间，第三电极和第四电极分别与栅极电连接。栅极的材料包括敏感金属材料，可以与被检测气体发生反应，进而影响栅极下方沟道层内二维电子气浓度，使得源漏极之间电流发生变化，从而实现气体检测。另外，通过第三电极和第四电极可以调整栅极电压大小，降低晶体管导通电流，使得气体与栅极发生反应导致的电流变化更加明显，提高器件灵敏度。并且，栅极还可等效为一加热电阻，提高被检测气体与敏感金属材料的反应速率，降低功耗。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体，尤其涉及一种气体传感器及其制备方法。

技术介绍

1、气体传感器根据工作原理可分为电化学式、半导体式、催化燃烧式、热导式，其中半导体式器件结构小、易集成、成本低，具有较大应用市场。然而，目前的半导体式气体传感器还存在灵敏度低、响应时间长等问题，并且，半导体式气体传感器通常还需要采用多层布线、或者将加热器环绕在传感器周围用于提升温度，导致成本较高、功耗较大。

2、基于此，如何提高气体传感器的灵敏度并降低功耗，成为本领域内重点研究的方向。

技术实现思路

1、本申请提供一种气体传感器及其制备方法，旨在提高其灵敏度，降低功耗。

2、第一方面，本申请提供了一种气体传感器，包括至少一个传感单元。传感单元包括衬底、沟道层和势垒层，沟道层设置于衬底上，势垒层设置于沟道层的远离衬底的一侧。传感单元还包括源极和漏极，源极和漏极均设置于势垒层的远离衬底的一侧。传感单元还包括第一电极和第二电极，第一电极设置于源极的远离衬底的一侧，且与源极电连接，第二电极设置于漏极的远离衬底的一侧，且与漏极电连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种气体传感器，其特征在于，包括至少一个传感单元；

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述源极和所述漏极在所述衬底上的正投影的形状均为插指状，所述源极与所述漏极交叉设置；

3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述沟槽在所述衬底上的正投影的形状为S形，所述栅极在所述衬底上的正投影的形状也为S形。

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述第三电极和所述第四电极在所述衬底上的正投影均具有线形，且所述线形至少包括相连的两个线段，所述两个线段的延伸方向相交叉。

5.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种气体传感器，其特征在于，包括至少一个传感单元；

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述源极和所述漏极在所述衬底上的正投影的形状均为插指状，所述源极与所述漏极交叉设置；

3.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述沟槽在所述衬底上的正投影的形状为s形，所述栅极在所述衬底上的正投影的形状也为s形。

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述第三电极和所述第四电极在所述衬底上的正投影均具有线形，且所述线形至少包括相连的两个线段，所述两个线段的延伸方向相交叉。

5.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述第三电极和所述第四电极一体设置，所述栅极位于所述第三电极和所述第四电极的远离所述衬底的一侧。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云鹏，孙剑文，卓启明，刘伟，于雨，刘煦，
申请(专利权)人：合肥美镓传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：