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本申请公开了一种气体传感器及其制备方法，属于半导体技术领域。该气体传感器包括衬底、沟道层和势垒层，源极和漏极均设置于势垒层的远离衬底的一侧，第一电极和第二电极分别与源极和漏极电连接，栅极设置于源极与漏极之间，第三电极和第四电极分别与栅极电连...
该专利属于合肥美镓传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥美镓传感科技有限公司授权不得商用。

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