一种光学元件表面测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学元件表面测量装置及方法，装置包括光源模块、运动台、激光能量监测模块、光电探测模块、空间三角焦点定位模块、投影模块、双目视觉模块和处理模块。本发明专利技术的技术方案，通过激光能量监测模块实时记录激光脉冲能量，光电探测模块精准测量聚焦光斑半径，空间三角焦点定位模块精确定位焦点位置，通过投影模块将周期性结构干涉条纹投射到待测光学元件表面，利用双目视觉模块捕捉干涉条纹变化，结合相移和解包裹算法，判断微形变或损伤，实现光学元件表面微形变及损伤形貌的三维重建。实现光学元件的微形变及损伤阈值实时在线测量，优化了损伤阈值评估过程。本发明专利技术具有高精度、实时性强、自动化程度高和适用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学测量，尤其涉及一种光学元件表面测量装置及方法。

技术介绍

1、随着高功率激光器在科学研究、工业加工等领域的广泛应用，光学元件的表面质量和损伤阈值对光学系统的性能和寿命影响重大。传统的损伤阈值测量方法主要通过离线实验、静态评估或者光学显微镜对表面损伤进行定性分析。这些方法通常存在以下问题：

2、1）测量精度有限：传统方法在检测光学元件表面微小变形和初始损伤时，精度不足，无法对多种损伤机制（如疲劳、老化、热损伤等）的综合评估，难以及时发现潜在问题。2）实时性差：大多数方法需要将光学元件从测试系统中取出，进行离线测量，无法实现在线、实时监测。3）适用范围有限：对于形状复杂或表面不平整的光学元件，传统方法难以取得准确的测量结果。

3、因此，迫切需要一种能够高精度、实时、在线测量光学元件表面微形变与损伤阈值的装置和方法。

技术实现思路

1、本专利技术实施例提供了一种光学元件表面测量装置及方法，以解决现有技术中存在的测量精度低、实时性差和适用范围有限等问题。</p>

2、根据本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光学元件表面测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述光源模块包括第一激光器、半波片、偏振分束镜、二向色镜和第一聚焦透镜组，所述第一聚焦透镜组包括至少一片聚焦透镜；

3.根据权利要求2所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述激光能量监测模块包括第一能量计、第二能量计和第二X轴线性位移台，所述第二能量计固定在所述第二X轴线性位移台上；

4.根据权利要求1所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述空间三角焦点定位模块包括第二激光器和第三激光器，所述第二激光器和所述第三激光器的出射光束倾斜入射至...

【技术特征摘要】

1.一种光学元件表面测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述光源模块包括第一激光器、半波片、偏振分束镜、二向色镜和第一聚焦透镜组，所述第一聚焦透镜组包括至少一片聚焦透镜；

3.根据权利要求2所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述激光能量监测模块包括第一能量计、第二能量计和第二x轴线性位移台，所述第二能量计固定在所述第二x轴线性位移台上；

4.根据权利要求1所述的光学元件表面测量装置，其特征在于，所述空间三角焦点定位模块包括第二激光器和第三激光器，所述第二激光器和所述第三激光器的出射光束倾斜入射至所述待测光学元件，所述z轴升降位移台、所述第一x轴线性位移台和所述y轴线性位移台调节所述待测光学元件的空间位置，所述空间三角焦点定位模块根据三角定位法定位所述待测光学元件所处的空间坐标。

5.根据权利要求1所述的光学元件表面测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：高勋，黄建兵，于海龙，黄建明，潘亚雷，
申请(专利权)人：苏州领锐源奕光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：